关于三维加度光纤传感器的理论研究.pdfVIP

Classified Index: TP212.14 U.D.C.: 621.3 Dissertation for the Master Degree in Science THEORETIC RESEARCH ON FIBER SENSOR OF 3D ACCELERATION Candidate: Yang Zhen Supervisor: Prof. Fang Xiaoyong Academic Degree Applied for: Master of Science Speciality: Optics University: Yanshan University 万方数据 摘 要 高可靠性，高灵敏度微型化的加速度传感器越来越为汽车工业、航天、 生物和医学等领域所需要。目前的研究及工程场合对三维加速度的测量提 出更高要求，针对于此本文提出了一种新型加速度光纤传感器的设计，并 对该传感器进行了系统的理论研究，给出了该三维加速度传感器的结构设 计、测量原理以及其参数和性能指标。论文的主要工作如下： 首先，介绍了国内外关于多维加速度传感器的研究现状和发展趋势。 随后论述了光纤传感技术的基本原理，并且分析了几种典型的相位调制型 干涉仪的传感机制，为后文部分加速度测量原理的推导提供了理论基础。 其次，按照功能划分出系统光源、敏感元件组、转换与测量电路以及 三维加速度的计算与输出等模块，并按照该划分依次设计其结构。对于本 文的核心部分，也就是对敏感元件组的设计，采用了弹性平膜片、全息光 栅以及角锥棱镜的组合，利用二维角度激光测量及迈克尔逊干涉原理，可 以在较高精度下同时提取并实时测量三维加速度信号。 再次，利用材料力学的相关原理建立起膜片的位移与梁结构扭转的空 间运动方程，并将它们与干涉条纹信息的测量联系起来，从而实现运动量 向光学量的转换。 最后，分析了传感系统的各个设计参量对传感器量程、分辨率以及测 量精度等性能的影响，给出了设计参量的选取原则以及技术指标的理论值。 关键词 光纤传感器；加速度传感器；结构设计；三维加速度测量原理 万方数据 Abstract Acceleration sensor with high reliability and high fidelity is needed more in the field of automotive industry, spaceflight, biology, medicine and etc. Current research and engineering occasions put forward higher demands of three-dimensional measurement of acceleration, thus this paper presents a new fiber-optic acceleration sensor design, and does systemic research about the transducer, demonstrating the structural design, the measuring principle as well as its parameters and performance indicators of the three-dimensional acceleration. The main work of this paper is as follows: