激光微加工统中若干关键技术的研究.pdfVIP

X635933 摘要 激光微加工具有加工条件较易满足、功率密度高、加工对象广泛、自动化程度高 等特点，得到了广泛的应用。在激光微加工系统中，激光为能量提供者，被加工的工 件为能量接受者。加工的过程是激光与物体表面相对运动，从而实现各种方式的加工。 在研制的激光微加工系统中采用了工件运动、加工光源固定的方式。本文针对系统中 运动控制系统部分提出了系统的设计方案，依据该方案完成了系统的设计、安装和调 试工作。 1 控制系统组成。控制系统由设定器、数字控制器、输入通道(位置检测)、后 向通道(执行机构)四部分组成。PC计算机作为设定器将控制的目标值(加工轨迹) 下载至数字控制器，数字控制器是控制系统的核心部件，它由硬件电路和程序两部分 组成，控制规律以及控制算法由数字控制器完成。数字控制器通过前向通道(光栅尺) 完成对位置信号的采集，经数据处理，通过控制算法输出经执行机构(基于步进电机 的x—Y平台)驱动完成闭环的运动控制。 2执行机构和反馈部件的选择。运动控制是由电机带动x—Y平台来实现的，步 进电机能够将控制器发出的脉冲信号变为x—Y平台的位移。相对于其他测长传感器 而言，因为光栅尺具有精度高、响应速度快等优点，尤其是输出信号可以直接与数字 电路接口且能方便地安装在x—Y平台上，很适合于本系统使用。因为步进电机具有 积分的性能，在理论上能够实现无静差控制，但实际控制系统中，执行机构和反馈部 件的分辨率决定了系统中存在着稳态误差。)(-一Y平台的步进分辨率与反馈部件的分 um，光栅尺 辨率决定了系统的静态误差，在本系统中)(__Y平台步进分辨率为1．25 um以内。 的分辨率为(经四细分)1um，决定了静态误差能控制在2 3步进电机的驱动和光栅尺信号的处理。基于TA8435H步进电机驱动集成芯片 完成了两相矢量步进电机驱动电路的设计与实现，整个驱动电路简洁可靠。本系统采 向的四细分辨向电路、18位的计数电路，锁存接口电路、地址译码电路，总线接口 等功能单元。本系统采用了单片EPFIOKIO，如果用通用的逻辑集成电路设计，需要 几十片。同时该模块响应速度快，与MCU接口时是直接的并行输入输出，访问的时间 很短，为几个微秒。在系统中，可以认为延时时间为0，光栅尺信号处理模块的传递 m，智能模块经 函数为H(Z)=1，符合系统中的动态特性的要求。光栅尺的栅距为4p u 四细分辨向后分辨率为l m，满足系统对反馈部件分辨率的要求。 4加工的运动轨迹文档的形成。PC计算机可以通过三种方式形成工件加工轨迹 文档并下载至控制器：(1)利用被观察的工件的CCD图象的像素点的位置与工件在x —Y平台的坐标的对应关系形成加工轨迹在CRT上通过键盘(或鼠标)的移动形成 的点阵图作为加工轨迹文档：(3)经各种图像输入设备得到的图像文件经图像处理和 二值化转换形成的点阵图作为加工轨迹文档。 5运动控制的实现。在定位控制中，对步进电机采用闭环和加减速控制，通过 算法可以将误差控制在2口m以内：在轨迹控制中，在速度低于2．5mm／s时(脉冲频 m以内。 率2KHz)，基于光栅尺的闭环系统中，控制误差在2p 6本系统采用的电磁兼容性措施(包括SMR抗干扰措施以及光电隔离等)和在 设计安装过程中的采取的其他可靠性措施保证了控制系统安全、可靠地运行。 Abstract Laser has been useddue toits realization micro·processingwidely