确定渐变型导的折射率分布.pdfVIP

确定渐变型波导的折射率分布 摘要 渐变折射率光波导是光通信和集成光电子学领域的关键元件 由 于其易制备和低损耗等特性 已获得愈来愈广泛的应用 而波导的模 式特征以及光波的传输特性均由其折射率的分布情况所决定 确定渐 变型光波导的折射率分布也对其制备有着重要的指导意义 因此 精 确测定渐变型光波导的折射率分布已成为一个十分重要的课题 现今 已有多种方法用于解决这一问题 例如 椭偏仪法 逆WKB 法以及 干涉法等等 由于逆 WKB (IWKB) 方法其明确的物理意义 简单 的计算过程 已广泛的应用于离子交换等渐变折射率波导当中 但是 WKB 方法是一种近似的方法 他的计算精度与所计算波导的折射率 分布类型密切相关 在折射率分布变化较慢的时候 结果较精确 而 在快变型波导中 其计算结果误差较大 这一缺陷同样存在其逆方法 中 本文提出了一种逆分析转移矩阵(IATM)方法来确定渐变型波导的 折射率分布 由于此方法基于的是精确的分析转移矩阵方法(ATM), 因此 本方法能克服 IWKB 方法中固有的缺陷 文中利用该方法计 算了几种典型的折射率分布 结果表明IATM 方法大大优于IWKB 方 法 在确定折射率分布过程中 表面折射率的确定是十分关键的 它 直接影响着整个折射率的分布轮廓 而在实际计算过程中 此数值一 般都是通过一些数学方法来确定 这些方法缺乏足够的物理依据 本 文提出了利用等离子表面波来确定渐变型波导的近表面折射率 通过 ATM 方法理论计算证明 这一结果非常接近表面 通常为 0.2个波 长左右 而最靠近表面的导模距表面通常要长达几个波长 本方法对 于确定近表面折射率 比用数学外推法得到的结果更合理 更精确 通过表面折射率的测定 也为精确确定波导折射率分布提供了有效信 息 成为这些方法的有效补充 关键词 渐变型波导 折射率分布 逆WKB 方法(IWKB) 逆分析转移矩阵(IATM) 等离子表面波(SPR); 近表面折射率 RECONSTRUCTION OF REFRACTIVE INDEX PROFILE OF THE GRADED-INDEX WAVEGUIDE ABSTRACT Graded-index waveguide is one of the most important components in optics communication and integrated optics. It has been widely used for its easy fabrication and low transmission loss. And the characteristics of the modes and the transmission in such waveguides are mostly dependent on their refractive index profiles (RIP). Therefore, determination of refractive index profiles of the graded-index waveguides has been a significant work recently, which can provide much useful information in the fabricating process. By now, many methods have been developed to solve this problem such as ellipsometric method, inverse WKB method, and interferometric method et.al., of which inverse WKB method has been widely used for i