稀土过渡族金薄膜的磁光性质和输运特性研究.pdfVIP

摘要 摘要 NdFeB作为一种非常引人注目的稀土金属间化合物，它的出现使永磁材料 进入了～个新的时代，也为许多行业带来了巨大的发展。而对NdFeB磁性薄膜 的研究既推动了NdFeB作为永磁材料在性能上的不断完善，又有利于探究其微 观构造，促进在磁光存储方面的深入发展，对于微磁器件的研发具有重大意义。 本文中，用磁控溅射方法和一定的热处理工艺制备了W／NdFeB双层膜和 W／NdFeB／W多层膜。在室温下，测量了不同厚度W／NdFeB／W多层膜的磁滞回 线，以及不同厚度W／NdFeB双层膜在一定入射光波长范围内的磁光克尔角艮。 对W／NdFeB／W多层膜来说，矫顽力随铁磁层厚度的增加呈非线性波动，而垂直 膜面矫顽力与面内矫顽力的比值则随铁磁层厚度增大指数衰减；垂直各向异性随 缓冲层厚度增加而增大。对W／NdFeB双层膜，垂直膜面矫顽力在铁磁层厚度为 50nm左右表现为极大，通过极向磁光克尔效应测量，磁光克尔角幺．入射光波长 五的变化曲线随铁磁层厚度增加先上移后下降，在铁磁层厚度为60nm时表现出 最高值。 另外，TbFeCo合金薄膜因其作为稀土．过渡族磁性薄膜的许多特殊性质， 也进入了我们的研究视野。一方面，在输运性质研究工作中，关于薄膜磁性质的 焦耳热效应研究开展较少；另一方面，TbFeCo合金膜中稀土磁矩与过渡族磁矩 反平行排列的结构导致其存在磁矩为零的补偿温度Tcomp，为研究温度对于磁性 能的影响提供良好实验平台。 本文在TbFeCo薄膜研究上，通过一系列对比实验了解特定成分磁性薄膜 的温度特性和输运性质。用磁控溅射方法制备了不同成分比的非晶TbFeCo合金 膜。采用振动样品磁强计测量其不同温度下的饱和磁化强度，并通过反常霍尔效 应测量了不同成分样品在改变电流值时的矫顽力变化曲线，证实其电流效应即为 焦耳热效应的反应。另外，对于富Tb与富FeCo的不同样品，测量其霍尔电阻 和电阻随外加磁场的变化曲线，并通过反常霍尔效应中电子偏转的唯象分析，做 出了较好的解释。 关键词：稀土过渡族合金薄膜，磁控溅射，磁光，磁性质的电流效应 中图分类号：0469 Abstract Abstract Askindof remarkablerareearth—metal of very compound，thediscovery NdFeBt(’ok materialtoanew alsomadelotsof permanentmagnetic age,and advancementin areas．TheresearchOllNdFeBthinfilm accderates not many only better ofNdFeBasa also makesfor material，but performance permanentmagnetic itsmicrostructureand itsfurther in finding promotes developmentmagneto-optical senseontheresearchofMicroElectroMechanical recording,makinggreat Systems (MEMS)