纳米孔阵列极氧化铝膜的制备与表征.pdfVIP

Y 4Z 46 65 纳米孔阵列阳极氧化铝膜的制备与表征 凝聚态物理专业 研究生叶军 指导老师赵北君 纳米结构材料是纳米科学技术研究领域的一个热点。模板法是制备纳米结 构材料是一种方便、可靠的技术。它是在20世纪90年代发展起来的前沿技术， 也是近几年来广泛应用的一种非常有吸引力的纳米结构制备方法。由于阳极 氧化铝膜(Anodic 米孔阵列的理想结构，并且AAM具有较高的的化学稳定性和热力学稳定性以 及它具有和现有微电子工艺兼容的特点，使其迅速成为制备纳米结构材料的 理想模板。 本论文首先对铝金属的物性进行了比较详细的研究，然后通过铝片进行阳 极氧化制备阳极氧化铝膜，接着对膜进行了比较详细的结构与形貌表征。证 明我们成功制备了纳米孔阵列AAM，最后对这种膜的成膜机理与影响因素进行 了深入分析。 主要研究成果与结论如下： (1)铝片在草酸、硫酸和磷酸等酸性溶液中阳极氧化都能得到纳米孔阵列 AAM膜。在不同阳极氧化条件下制备出具有不同孔径、孔密度、孔深度的纳米 孔阵列模板。 (2)研究了铝片纯度，铝片热处理、电解液种类、电孵液温度、阳极氧化 电压、阳极氧化时间、扩孔时间等对制备的AAM中孔的大小、密度、深度的影 响关系，并且提出革酸是制备纳米孔阵YOAAM的相对方便与可靠的电解液。从 理论和实验上为制各可人为控制形貌的纳米孔阵列AAM模板提供了依据。 排布的纳米级的孔阵列结构，膜胞呈现六边形规则结构。阳极氧化铝膜(AAM) 具有孔分布均匀等特点，是制备形状高度均匀、有序纳米电子材料的理想模 板。 (4)深入研究了成膜机理，分析了AAM的生成过程和六边形膜胞结构的生成 机理，以及孑L垂直基底生成的过程。 本论文研究工作是四川大学材料系承担的教育部博士点基金“硒化镉纳米 线阵列膜及其特性研究”课题的部分内容，研究结果可用于硒化镉纳米线阵 列的沉积，并可进一步丌发制备其它新型纳米结构材料。 关键词： 阳极氧化铝膜(AAM)纳米孔阵列制备表征模板 PREPARATl0N AND OF ANODIC ALUMINAMEM[BR ANESWITH NAN0．PORE ARRAYS Matter Specialty：Condensed Physics MasterCandidate：YeJun Tutor：Prof．Zhao Beijun Nano—structure at a of materials，started1990’，are point nano—materialscience．The a i