冶金法制备阳能级多晶硅.pdfVIP

冶金法制备太阳能级多品辟 系。结合实验数据，论文中对几种络合剂对硼酸的络合效果的差异给予了理论说 明，结果发现甘油、苯羟乙酸和二羟基萘可作为有效的除硼络合剂。 另外，本论文在微波辅助湿法冶金方面也做了一些研究。我们发现利用微波 的特性有利于加快化学反应速率和杂质向溶液扩散的速率，虽然提纯效果与常温 下差别不大，但却大大缩短了提纯时间，提高了时l’日J利用率。 在火法提纯多晶硅的研究中，根据杂质元素在一定温度下有一定的扩散速 度、产生偏析的特点，结合与氯的反应机理，我们提出了氯化焙烧与氯化浸出相 结合的工艺。该工艺对多种金属杂质和硼杂质有较明显的去除效果，可作为提纯 多晶硅的前处理工艺。 最后，本论文还对造渣精炼的研究进行了阐述。我们通过加入不同比例的 Si02．CaO．Na20作为造渣剂，液态硅中的杂质元素被氧化，其产物进入渣相，使 得样品杂质含量大大降低。 本论文研究的的湿法和火法提纯多晶硅工艺方法，可将2N(99％)的冶会 硅提纯至4N(99．99％)，本研究中的样品是采用电感耦合等离：j乞体原二f发射光谱 Plasma-AtomicEmission 仪(InductivelyCoupled 进行检测。这一工艺可作为提纯前