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- 2015-10-27 发布于贵州
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摘 要
CF 、NF 等全氟化合物（Perfluoro compounds ）被广泛用作半导体工业的蚀刻
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气和清洗气，具有极高的温室效应潜值（GWP ），如CF 的GWP为CO 的 6500 倍，
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在大气中的寿命长达 50000 年。无水条件下CF 、NF 与金属氧化物直接反应，转
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化为无害的固体氟化物，是消除这类温室气体的一种有效方法。
本论文考察了无水条件下CF 在Al O 基脱氟剂、氟化钠-单质硅-金属氧化物
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（NaF- Si-MO ）三元混合物上的直接分解反应，考察了NF 在Al O 基脱氟剂上的
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