cu微结构备和zno纳米棒及au纳米粒子的图案化自组装.pdf

摘要 摘要 微／纳米技术是实现微／纳米功能器件的基础，制备位置精确可控的微／纳米结 构是微／纳米技术的重要内容。发展工艺简单、成本低廉、可大面积批量制备铷 纳米结构的加工方法是微／纳米技术的研究热点。纳米材料由于其独特的化学和 物理性质，在微／纳米技术领域一直是研究的焦点。纳米材料的物理化学性质不 仅依赖与尺寸的大小，而且取决于形态和空间排布，因此，如何在纳米尺度实现 位置及结构精确可控的纳米材料自组装是实现纳米材料器件应用中最重要也是 最有挑战性的部分。 Wet 本论文基于电化学湿印章技术(Electrochemical Stamping，E．WETS)及琼 板为媒介，对金属膜微结构制备及纳米材料(纳米粒子、纳米棒)的自下而上 (bottom。u们图案化自组装进行了研究。 本论文共分为五章，前言介绍了微系统中半导体工业的金属膜微加工技术以 及纳米技术中的可控自组装技术，详细介绍了目前制备金属膜微结构的无掩模可 大面积复制技术，并对