微加工工艺惯性约束聚变分解实验用靶制备中的应用研究.pdfVIP

摘要 摘要 瑞利一泰勒不稳定性是惯性约束聚变分解实验的重要研究内容，本文围绕 ICF分解实验中需要用到的几种靶型及其制备展开研究。 本论文第二章介绍了当前国内外研究瑞利一泰勒不稳定性增长实验所用靶 型的制备及应用情况。从实验用靶来看，调制靶的设计正从平面向立体发展， 出现了球形和柱形等新靶形，制备手段包括精密机械微加工方法、激光束、电 子束、离子束微加工方法、半导体工艺微加工方法等。根据国外球形和柱形等 新靶型的参数，结合国内现有的工艺条件和具体实验需求，对国内可能采用的 靶型及其制备工艺进行了研究探索。 本论文第三章介绍了采用激光干涉法在光刻胶表面制备正弦起伏图形，结 合电镀图形转移工艺获得了一系列Ni基图形转移模板，并进一步将正弦起伏图 形使用旋涂镀膜方法转移到聚合物薄膜表面，制备出(溴代)聚苯乙烯二维调 制箔靶的工艺过程。研究了图形的精确转移工艺，对工艺参数的优化进行了讨 论，重点介绍了旋涂参数的摸索和深振幅样品的脱膜工艺研究。比较了光刻胶 表面图形和一次、二次电镀转移图形以及转移到聚苯乙烯薄膜上图形的形貌， 测定了图形转移过程中的深度变化，结果表明：经过整个制备工艺后，图形形 貌未遭破坏，仍具有