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The Photoelectric Performance of
Cu ZnSnS(Se) Films Prepared by a Two-Stage
2 4
Process
A Dissertation Submitted to
the Graduate School of Henan University
in Partial Fulfillment of the Requirements
for the Degree of
Master of Engineering Science
By
Hou Zeliang
Supervisor: Prof. Wu Sixin
June. 2013
摘 要
近年来,铜铟镓硒 (CIGS )薄膜太阳能电池的研究工作取得了很大的进展,其最高
的效率已经超过了20% 。但是,由于Ga 和In 元素为稀有元素,储量稀少,增加了其制
作成本,限制了发展。Cu ZnSnS (CZTS )材料由于元素含量丰富而且无毒,并且具有
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与太阳能光谱非常匹配的禁带宽度,成为替代CIGS 最理想的光伏材料之一。与此同时,
CZTS 还被作为的对电极材料应用于染料敏化电池中。
目前,制备CZTS 薄膜的方法各种各样,其中溶液法是目前制备Cu ZnSnS 薄膜最
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具成效的方法。然而在溶液法制备CZTS 薄膜的过程中,往往用到长链有机物或者有毒
溶剂,例如油胺,肼等,对环境会造成不利的影响。并且长链有机物在高温硫化后会形
成无定形碳层,不利于电荷的传输,最终会影响电池的效率。而溅射法具有污染小,薄
膜的致密性高等优点,是制备CZTS 薄膜的材料理想方法之一。同时,由于CZTS 为四
元化合物,就增加了溅射法制备CZTS 薄膜材料的工艺难度。所以,发展一种新的CZTS
薄膜制备方法是非常必要的。本论文中,通过一种工艺简单的溅射方法和高温退火过程
制备了CZTS 薄膜材料。探讨研究了将CZTS 薄膜作为吸收层进行了薄膜电池的组装,
以及作为对电极在染料敏化电池中的应用并进行了性能测试。本论文的工作主要包括以
下几个部分:
1. 采用单个三元的合金靶制备了Cu-Zn-Sn (CZT )合金预置层,然后在足量的硫气
氛中进行硫化退火,可以有效防止金属的氧化,制备了具有锌黄锡矿结构的Cu ZnSnS
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薄膜。在550 oC 退火后得到了的致密性高,晶粒大的高质量薄膜。通过XRD 以及拉曼
测试确定了薄膜为纯相。利用相同的过程制备了纯相的Cu ZnSnSe 薄膜。证明了这种两
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步过程制备CZTS 薄膜是可行的,并且溅射的工艺相对简单。通过调节硫化和硒化的时
间,达到对 S/Se 比例的调控,进而对薄膜的质量以及材料性能进行调控。通过紫外吸
收测试证明了制备的CZTS 薄膜都具有可见光吸收。
2. 尝试进行CZTS 薄膜太阳能电池的组装。利用各种方法制备了Mo 背电极、CdS
缓冲层、i-ZnO/Al:ZnO 窗口层、Al 电极。然后进行薄膜电池的组装,并对电池的性能
进行了I-V 测试。由于没有能够对组装过程中的工艺的精确掌握,致使电池的性能结果
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