4H-SiC+SAM-APD结构紫外探测器研究.pdfVIP

摘要 摘要 紫外探测技术主要应用于生化检测、可燃性气体尾焰探测及导弹羽烟的紫外 辐射探测等领域。由于4H．SiC具有宽带隙的特点，用其制备的紫外光电探测器具 有日盲特性。本文讨论了4H—SiC雪崩光电探测器的物理机理和性能参数，建立基 于漂移．扩散理论的SAM．APD器件物理模型，模拟其反向I．V特性，并分析光响 应灵敏度和量子效率与波长的关系。论文通过使用正交实验方法来分析SAM．APD 结构各外延层厚度对紫外探测器光谱响应的影响，得到如下结论：p+层变化对探测 器光电特性影响最显著，n层次之，n。层变化对性能影响不明显。在以上结论基础 上优化SAM．APD的器件结构，设计了一种改进型4H．SiCSAM．APD紫外探测器， 仿真结果表明这种新的结构提升了光谱响应。绘制器件版图，讨论了器件制造工 艺，设计了具体的工艺步骤。分析了工艺制造中存在的问题，通过适当减小器件 窗口面积的方法，来减少表面暗电流的迅速增大，达到紫外探测器的设计要求。 本文对SAM—APD结构紫外探测器提供了一定的设计指导方法，设计了一种 新的4H．SiC SAM．APD器件结构。为SiC材料紫外光探测器的制备和进一步研究 奠定了理论基础，具有～定指导意义。 关键词：紫外探测器模拟研究正交实验响应度 Abstract Abstract ultravioletdetectorshave inchemical The manyapplications sensing，flame to detectionandmissile inharshandsevereradiationenvironment．Due sensing plume shouldhavethe thewide of detectors thismaterial 4H．SiC，photo utilising bandgap basic andthe ofa visible—blind／solar-blind parameters good performance．The advantage APDale constructed ofthecharacteristicsof4H-SiC presented．Thispaper comparison modelbasedon thebiasI—V aSAM．APD theory,simulated physical drifting—diffusion are inthisthesis． efficiencyinvestigated character,thespectralresponsivity,quantum