ZnO%3aGa透明导电膜低温制备及特性及研究.pdfVIP

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2015-11-04 发布于安徽
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ZnO%3aGa透明导电膜低温制备及特性及研究.pdf

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些查查堂雯主堂垡丝壅—— ABSTRACT have inthe highopticaltransparence Transparentconductingoxide(TCO)films intheinfrared and electrical visible reflectance region，highoptical regionhigh art conductors conductivity．Asimportant material，thesetransparem opto—electronic with in devicessuchassolarcells were wide provided applicationsphoto—electronic their ofthesefilmshaveattracted and becauseof specificproperties．Studies displays interestof researchworkersinrecent anda of much many years varietydeposition havebeen todeposit oxides．Forthe techniques employed transparentconducting wereusedsuch ZnO(ZnO：Oa)films,several depositionofGallium-doped techniques aschemical vapordeposition(CVD)，sol—geltechnique，spraypyrolysis，magnetron and laser beam sputtedng deposition,molecularepitaxy． pulsed Inthis ZnO：Ga conductivefilms dissertation,highquality transparent prepared atlow was byr．f．magnetronsputteringtemperaturereported．Thestructural，electrical and oftheZnO：Gafilmswere in ofthe terms opticalproperties investigated conditions， preparation ZnOfilmsare morestableinactivated environmentsthanotherTCO