微型模具制造技术.pdfVIP

微型模具制造技术研究与发展——于同敏 宫德海 微型模具制造技术研究与发展 于 同敏 宫德海 大连理工大学，大连，116024 摘要 ：介绍了微型制件及微型模具成形特点，全面分析 了各种微细加工方法的技术特点及 其在微型模具制造 中的应用状况 ，同时分析 了各种微细加工技术的适用范围与发展前景 ，并重 点阐述 了以IIGA技术为代表的光加工技术在未来微型模具制造技术发展 中的重要作用。 关键词 ：微型制件 ；微细加工 ；IIGA技术 ；微型模具制造 中图分类号 ：TG76；TQ320 文章编号 ：l()()4一l32X(2005)02—0l79—05 ResearchandDevelopmentofM icromoldManufactureTechnology YuTongmin GongDehai DalianUniversityofTechnology，Dalian，116024 Abstract：Basedoiltheintroductiontoprocesscharacteristicsofmicropartsandmicromolds，the machiningcharacteristicsofsomekindsofmicro—machiningmethodsandtheirapplicationsinmicro— moldmanufacturewerediscussed in general，theirapplicability and developmentprospectwerealso mentioned．Emphasisisgiven toindicatethatLIGA technology asa typicallithographywillplay a veryimportantroleinthefuturedevelopmentofmicromoldmanufacturetechnology． Keywords：microparts；micro—machining；LIGA technology；micro—moldmanufacture 0 引言 用微细加工方法可 以直接成形用于微机电系统的 微注塑成形口作为热塑性塑料成形的一种重 微小构件 ，但通过微型模具成形微小制件更易于 要工艺方法 ，与 目前在微机械领域广泛应用 的硅 保证质量，且成形工艺容易控制 ，便于 自动化生 基材料微小构件成形工艺相 比，其制造成本大幅 产 ，是大批量成形微型制件的重要工艺发展方向。 度下降，生产周期大为缩短，并且成形工艺简单 ， 1 微型制件与微型模具 构件质量易于保证 ，容易实现 自动化和批量生产 。 而微型注塑模具作为微型塑件 的成形工艺装备 ， 1．1 微型制件 其制造技术和发展水平，对微型塑件的成形质量 目前 ，微型制件 已在微 电子 、微机械 、精密仪 至关重要。 器及生物医学等领域得到成功应用 。但对微型制 微型模具的制造 ，离不开微细加工技术 的支 件 的概念还没有准确 的定义 。有的研究者从微注 持 。随着微机 电系统技术 的发展对微型制件需求 塑成形的角度 ，给出了微型塑件 的含义 ，即微型塑 的日益增加，微细加工技术也在不断发展与完善 ， 件应具有以下特征 ]：①整体结构尺寸微小，通常 从传统微细切削加工的车削、铣削和磨削等 ，到微 其单件重量仅为几毫克 ；②具有表面微小结构 ，即 细特种加工的电火花 、电化学、激光、超声波 、离子 塑件总体尺寸仍为普通尺寸，但其局部细微结构 束和电子束等 ，以及新兴 的光加工技术 的光刻、蚀 的尺度为微米量级 ；③