开题报告_张洁.docVIP

南京理工大学硕士研究生 学位论文开题报告 姓 名： 张洁 学 号： 109040704 学 科： 电磁场与微波技术 所在院系： 电光学院 指导教师： 车文荃 2010年 9月 20日填  一、 拟选定学位论文的题目名称 二、 选题的科学意义和应用前景 微机电系统（Micro-electro-mechanical systems，MEMS）是指可以批量制造的，集微结构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路等于一体的器件或系统。其特征尺寸一般在0.1~100μm范围。目前国际上通常将MEMS冠以Inertial-，Optical-，Chemical-，Bio-，RF-，Power-等前缀以表示其不同的应用领域。MEMS利用了当今科学技术的许多尖端成果，更重要的是它将信息处理与敏感及执行机构相结合，改变了人们感知和控制外部世界的方式。[1] RF MEMS是MEMS技术的重要应用领域之一。所谓RF MEMS就是MEMS技术在RF领域的应用，MEMS技术加工而成的器件替换微波射频系统中的传统器件，RF MEMS 器件中不存在传统开关中的I-V 非线性，大大减少了谐波分量和互调分量，提