材料研究方法及电子显微镜.pptVIP

1.电子束与固体物质相互作用产生的物理信号 材料研究方法 电子束作用于试样上所产生的物理信号主要有背散射电子、二次电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、连续X射线、特征X射线、X荧光、阴极发光、衍射电子等。 材料研究方法 物理信号 产生深度 产生广度 用 途 分辨率 仪 器 俄歇电子 ＜10? 等于电子束作用面积 表面形貌和成份像 10~100 ? 俄歇电子谱仪 二次电子 ＜100 ? 约等于电子束 形貌像、结构像 30~100 ? 扫描电镜 背散射电子 较大 大于电子束 形貌像、成份像 50~2000 ? 扫描电镜、电子探针 吸收电子 电子穿透深度 大于电子束 形貌像、成份像 1000~10000 ? 扫描电镜、电子探针 透射电子 形貌像、结构像 1.4~100 ? 透射电镜 特征X射线 略小于电子穿透深度 大于电子束 元素定量、定性分析、元素面分布像 电子探针 阴极发光 大于电子穿透深度 远大于电子束 晶体缺陷、杂质元素分布像、晶体发光 3000~10000 ? 扫描电镜、电子探针 各种物理信号各种的产生深度、