KT-200油扩散泵的论述及其技术改进.docVIP

摘 要 本文对KT-200油扩散泵的各方面做了详尽叙述。通过介绍KT-200油扩散泵的工作原理、结构特点、性能参数、特性及扩散泵的运用及维护和常见故障与维修方法，使人们进一步了解油扩散泵。 通过对油扩散泵的工作过程描写，研究了扩散泵的抽气机理与性能计算。利用在菲克扩散定律基础上建立起来的抽气模型推导出抽速的计算公式，并利用扩散泵抽速与入口压力之间的关系（一般用抽气特性曲线表示）得出：影响抽速原因有很多，如被抽气体的种类和温度；泵的几何尺寸；泵油的种类和蒸气射流的状态（与喷嘴的结构及加热功率等有关）以及泵的出口压力等。透过泵入口压力与出口压力的关系图得到：当泵的出口压力小于泵的最大出口压力时，泵的极限压力不受泵出口压力影响。 本文讨论了返油现象并分析其原因：1、凝结于顶喷嘴表面上的油膜的再蒸发。2、泵壁上凝结油膜的再蒸发和爬移。3、喷嘴内喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的散射。4、油蒸气由喷嘴喷出后，由于油蒸气分子的热运动、碰撞、反弹、包括泵油爆沸产生的飞溅和压力起伏引起的泵油分子直接向高真空侧返油。并通过剖析提出增设挡油帽的措施来解决返油现象。 结合全文从中得到的结论和规律有： 1、扩散泵主要有四个性能参数，即极限真空、抽气速率、出口压强和返油率。（1）极限真空：一般扩散泵的极限真空为0.001Pa。主要与泵液在泵壁温度下的饱和蒸气压，扩散泵返油，气体从前置真空向高真空反扩散在入口处产生分压强，泵壁漏气和放气在入口处产生的分压强，泵口的抽速等五个方面有关系。（2）抽气速率：与泵尺寸、泵油种类有关。（3）出口压强：泵的最大出口压强为40Pa。 2、扩散泵油对抽气性能、极限压力影响特别大，因此对泵油的基本要求是：（1）泵油的分子量要大（2）泵液在室温下的饱和蒸气压要尽量低（3）泵液在沸腾温度下的饱和蒸气压要尽量低（4）化学稳定性要好（5）热稳定性要好（高温下不易分解）（6）抗氧化性能好（与大气接触时不会因氧化改变泵液的性能）。 总之通过本文对油扩散泵的详尽讲解，使读者能更深入的明白其工作原理、过程及特性，使人们能更多的学习到有关扩散泵的知识。 关键词：抽气速率，返油率，极限真空，出口压强，扩散泵油  目录 概述……………………………………………………………………5 油扩散泵的来历 ……………………………………………………………………………………5 泵的简介………………………………………………………………………………………………5 扩散泵的种类 ………………………………………………………………………………………6 扩散泵工作原理 ……………………………………………………7 探讨泵的抽气过程 …………………………………………………………………………………7 扩散泵的抽气机理与性能计算 ……………………………………………………………………10 扩散泵的结构特点 …………………………………………………12 总体结构介绍 ………………………………………………………………………………………12 加热器与加热功率 …………………………………………………………………………………14 泵体 …………………………………………………………………………………………………14 喷嘴 …………………………………………………………………………………………………16 伞形喷嘴（扩散喷嘴）……………………………………………………………………………16 喷射喷嘴……………………………………………………………………………………………17 分馏装置 ……………………………………………………………………………………………18 油扩散泵的性能参数……………………………………………… 19 抽气速率 ……………………………………………………………………………………………19 极限压力 ……………………………………………………………………………………………20 最大出口压力的论述 ………………………………………………………………………………22 扩散泵油的特性及返油 ……………………………………………23 讨论对扩散泵的要求 ………………………………………………………………………………23 工作液的分类 ………………………………………………………………………………………23 讨论泵油对极限压力的影响 ………………………………………………………………………24 泵油的饱和蒸气压 …………………………………………………………………………………24 泵油的返流 …………………………………………………………………………………………24 扩散泵的维护及运用 ………………………………………………27 扩散泵的维护 ……………………………………………………………………………