三自由度压电致动微动平台设计和制造.pdfVIP

中國機 械工程學會第 二十四屆 全國學術研討會論 文集 中原 大學 桃園、中壢 中華民國九十 六年十一月二十三日、二十四日 論文編號： B09-0019 自由度壓電 致動微動 平台設計 與製造 1 1 2 4 3 3 葉彥良 ，曹以明 ，汪正祺 ，曾仕民 ，陳匡盛，林妍蘋 1 遠東科技大學自控系副教授 2 3 遠東科技大學機械系副教授 遠東科技大學機械工程學系研究生 4 工研院能環所 國科會計畫編號： NSC 95-2221-E-269-012 摘要 的 撓性機構 類型合 成問題 ，並相對於剛 性機構的 本文中主是目的是針對三自由度之壓電 致動之 自由度 (DOF)觀念 ，提出撓性度(DOC)觀念 。1994 微動平台做設計 與製造， 主要是利用 撓性機構設計 年 Her 和 Chang[4]使用 撓性接頭設計微 小位移 平 以達到三自由度之撓性平台設計 。再利用有限 元素法 台， 並探討 撓性接頭的剛 性 ，負荷和 多連桿的 結構 做 分析以了解 平台移動 情形 ，再由 分析結果做依據 關係 。1994 年，Larry 與Midha[5]採用運動 學與尤 以獲得較佳 之平台移動 狀態，由分析所得之結構圖建 拉-柏努 力橫樑理論 結合的 方法發展， 出可 以取代機 構一完整之微動 平台。由 分析結果可知 ，可利用 三個 構接頭的 撓性軸樞 。此類軸樞即是利用撓性 機構變 壓電致動器 之移動可 控制完整的平面 平台之三自由 形的 特性 ，取代模型中的彈簧 ，接頭與連桿 。1998 度，並獲得較佳之三自由度微動平台之移動 狀態。 年Midha和 Larry 以及 Tony[6]等人提出決定一撓性 機構在某限制運動範圍下的 分析方法 ，並可以產生 關鍵字 ：壓電 致動器 ，微動 平台， 撓性機構 ，六自 相對應的剛 性機構。2003 年Hung [7]在微 機電的尺 由度 度下 ，應用有限元素的 方法，對微爪機構進 設計 與分析，當中對 於微 小撓性接頭亦有相當 多的討 1. 前言 論 。因 此現 今之撓性結構之設計技術已可有 效的 應 一般之微動平台 非常多，本文以撓性元件所 建立 用到高 密度之微動 定位平台， 且可有 效提供 平台 之微動平台為主，由於在撓性元件所 建構之微動平台 之自由度設計以提高 定位平台之 性能 。 有非常 多種，依不同的型式發展微動 平台。但主要還 2. 理論 是以壓電 致動之微動 平台做為主要發展 ，主要是在壓 以下為結構方程 式之理論， 而本文由於在能量 守 電致動器有高靈敏度，高反應度 。壓電驅動 之微動平 恆下 ， 必須滿足[8]: 台之發展已有 一段時間 ，在發展方向 主要 分為三種 ， 分別是利用摩 擦滑動現象做驅動平台，另 一為利用夾 d U d V