基于遗传算法的BSIM SOI模型参数提取.pdfVIP

第 26 卷 　第 8 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 8 2005 年 8 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S Aug . ,2005 基于遗传算法的 BSIM SOI 模型参数提取 李瑞贞 　韩郑生 ( 中国科学院微电子研究所 , 北京 　100029) 摘要 : 提出了一种提取 B SIM SO I 模型参数的新方法 ,该方法基于遗传算法和局部优化法的结合 , 同时具有全局优 化和局部优化的优点 ,提取的参数物理意义明确 ,并且容易得到全局最优解. 该方法计算简单 ,不需要对模型进行 μ 深入了解和丰富的参数提取经验 ,易于推广使用. 对用该方法得到的 SO I 模型进行了模拟 ,并将模拟结果与 12