《Analysis and design of resistance-wire heater in MOCVD reactor》.pdfVIP

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2015-11-11 发布于河南
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《Analysis and design of resistance-wire heater in MOCVD reactor》.pdf

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《Analysis and design of resistance-wire heater in MOCVD reactor》.pdf

J．Cent．SouthUniv．(2014)21：3518-3524 垒Springer DoI：10．1007／sl1771—014—2331．7 Analysisanddesignofresistance—wireheaterinM OCVD reactor QUYu．xuan(~ )，WANGBin(王斌)，HUShi．gang(胡仕刚)，WUXiao．feng(吴笑峰)， LIZhi—ming(李志明)，TANGzhi_jun(唐志军)，LIJin(~劲)，HUYing．1u(胡莹璐) 1．AdvancedTechnologyGeneralizationInstituteofCNGC，Beijing100089．China； 2．TheCenterofCoordinationandSupportofStateAdministrationofScience， TechnologyandIndustryforNationa1Defence，Beijing100081，China； 3．Schoo1ofInformationandElec仃ica1Engineering，HunanUniversityofScienceandTechnology， Xiangtan411201．China； 4．SchoolofInformationScienceandEngineering，Universiyt ofJinan，Ji’nan250022，China； 5．The41stInstiutteofChinaElectronicsTechnologyGroupCorporation，Qingdao266555，China ◎CentralSouthUniversitVPressandSpringer-VerlagBerlinHeidelberg2014 Abstract：Meta1organicchemicalvapordeposition(MOCVD)isakeyequipmentinthemanufacturingofsemiconductor optoelectronicdevicesandmicrowavedevicesinindustry．Heatingsystem isavitalpartofM0CVD．Specificheatingdeviceand therrnalcontro1technology areneededforeachnew reactordesign．Byusingresistance—wireheatingMOCVD reactionchamber mode1．thermalanalysisandstrucutreoptimizationofthereactorweredevelopedfrom theverticalpositionandthedistancebetween coilsoftheresistance-wireheater．Itisindicatedthat，withinacertainrange，theaveragetemperautreofthegraphitesusceptorvaries linearlywiththeverticaldistanceofheaterto susceptor,andwith thechangeddistancesbetween thecoils；furthermore，single resistna ce．wireheatershouldbeplacedlooselyintheintemalandtightlyintheexterna1．Themodulateaccuracyofthetemperature fieldapproximatelyequalsthechangeoftheaveragetemperaturecorrespondingtothechangeofthecoilposition． Keywords