圆弧刃金刚石刀刀尖圆弧的机械研磨及其检测技术.pdf

Classified Index ：TG712 U.D.C.: 621.9.07 Dissertation for the Doctoral Degree in Engineering MECHANICAL LAPPING AND MEASUREMENT TECHNIQUES OF NOSE ARC OF ROUNDED DIAMOND CUTTING TOOLS Candidate： Li Zengqiang Supervisor： Prof. Dong Shen Associate Supervisor ： Prof. Sun Tao Academic Degree Applied for: Doctor of Engineering Specialty: Mechanical Manufacturing and Automation Affiliation: School of Mechatronics Engineering Date of Defence ： December, 2008 Degree-Conferring-Institution ： Harbin Institute of Technology 摘 要 摘 要 超精密切削加工作为超精密加工技术中的代表性技术，现已成为衡量一 个国家制造水平高低的重要标志。实现超精密切削加工，不仅需要超精密的 切削机床、高精度的检测仪器和超稳定的加工环境，还需要进行切削加工用 的高精度圆弧刃金刚石刀具。美日等国高精度圆弧刃金刚石刀具的水平已能 达到刃口钝圆半径（锋利度）10nm 以内，刀尖圆弧圆度 50nm 以内。国内 高精度刀具的刃口钝圆半径已接近该先进水平，但刀尖圆弧圆度还存在巨大 的差距。因此，解决高精度圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧的研磨问题成为当务 之急。 金刚石晶体具有很强的各向异性，不同的晶面上乃至同一晶面不同方向 上的机械性能差异明显。在圆弧刃刀具的刀尖圆弧上，各段圆弧所处的晶面 不同，使得各段圆弧存在迥然不同的磨削性能。如果还是使用简单的圆弧研 磨方法，研磨的效率必然非常低下。但目前还没有行之有效的模型来描述刀 尖圆弧上材料的磨削性能。加之现有研磨设备和研磨工艺存在的诸多缺陷， 使得刀尖圆弧的研磨很难达到较高的精度。因此本文从晶体学入手，对圆弧 刃金刚石刀具刀尖圆弧的研磨机理、研磨设备及检测技术等展开系统的研 究。具体的研究内容包括以下几个方面： 首先运用分子动力学模拟的手段，结合周期键链 PBC 理论解释了金刚 石刀具机械研磨过程中材料去除的微观机理。这是首次在原子的尺度上从晶 体学的角度对金刚石刀具机械研磨过程做出的微观解释。该微观解释为金刚 石刀具刀尖圆弧的机械研磨奠定了理论基础。并依此建立了评价金刚石晶体 各晶面中任意方向研磨难易程度的 PBC 模型。随后进行的材料去除率试验 很好得证实了该模型的正确性。 其次在 PBC 模型的基础上，建立了以{100}和{110}晶面为前刀面的金 刚石刀具刀尖圆弧上材料去除率比值模型。首次使用数学模型定量地描述了 刀尖圆弧上材料的磨削性能。该模型为高效低成本研磨优质圆弧刃金刚石刀 具提供了理论依据。并根据该模型得出了不同前刀面刀具刀尖圆弧的优选研 磨方向及优选的刀具晶面组合 R(110)F(110) 。结合材料去除量公式，提出了 适于刀尖圆弧研磨的变研磨压力和变研磨时间两种研磨方法。 然后在总结现有圆弧刃金刚石刀 具研磨机缺点的基础上，使用 Pro/Engineering 自顶向下设计了一台新型的圆弧刃金刚石刀具研磨机。该研