pdms微流控片关键工艺技术研究.pdfVIP

摘要 摘要 聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为一种特殊性能的弹性体，具有加工简便、较高 的热稳定性、优良的光学特性、生物兼容性等优点，是目前微流控芯片制各中使 用较多的聚合物材料。但是作为一种疏水性较强的芯片材料，PDMS存在着表面 润湿性、粘接性差等问题。本文着重对PDMS微流控芯片微通道结构膜的制作 及其表面改性、键台方法进行较系统的研究，使其在微流控芯片领域得到更广泛 的应用。 根据PDMS的分子结构和性能特点，对其成型工艺作了较深入的研究。分 析了影响PDMS固化的主要参数：基于PDMS平面膜的成型工艺，探讨了旋涂 工艺的流体理论，并在实验的基础上得出了膜厚度与甩胶机转数之间的实验曲 线：研究了摸塑法、再铸模法等成型PDMS微通道结构膜的方法，获得了具有 高保真度和较高表面光洁度的结构膜。 从表面润湿理论出发，研究了紫外光照氧化、氧等离子体处理等改善PDMS 表面润湿性能的方法，通过接触角测量和表面能谱分析，确定了处理PDMS表 面的最佳处理参数，分析了处理参数对PDMS改性后表面性质稳定性的影响， 并对其改性机理及退化效应进行了讨论。 介绍了不同材质微流控芯片的键合工艺，研究了使PDMS微流控芯片发生 永久性键合的方法一两步固化法、氧等离子体处理。通过剥离实验和SEM分析 了两种方法的键合效果。结果表明，采用两步固化法键合后的芯片适用于低压 场合，而氧等离子体键合强度高，能承受很高的外加压力；讨论了两种键合方 法的键合机理。 关键词：微流控芯片，聚二甲基硅氧烷(PDMS)，氧等离子体，润湿性，键合 Absttact Abstract an classof thatcarlbe Poly(dimethylsiloxane)(PDMS)isunique polymers crosslinkedtOformelastomerwith attractive easeof many properties，including thermal excellent characteristicsand fabrication，highstability， optical hasbeenusedin microfluidica biocompatibility．It fabricating chips．Ashydrophobic has inertsurface as material，however,PDMSvery properties，suchpoorwettability andweak itis forPDMStO itssurface adhesion，SOnecessary modify properties． Some suchasthemicrofabricationofPDMSmicrofluidicand keyprocesses chips were in surfacemodificationmethods this presentedpaper． ofPDMS werestudied toits Fabricatingprocesses microchip accordin