喷淋式MOCVD反应器中流动现象的数值的研究.doc

喷淋式MOCVD反应器中流动现象的数值研究 [摘要] 本文简要介绍了MOCVD的概况，结合喷淋式MOVCD反应器的基本结构，建立喷淋式反应器的三维几何模型，应用Gambit软件对该MOCVD反应器实施网格划分，并应用Fluent将控制方程在网格节点上进行离散化，运用压力耦合方程的半隐式算法（SIMPLE）求解连续性方程，动量及能量的守恒方程。 本文以进口管路流速、反应室内压强以及基片温度为三个分析参数，分别讨论了改变其中任意一个参数条件下的流场和温度场。模拟分析得出，在进口管路流速较高、反应室压强相对较低和基片温度较高的条件下的流场和温度场分布更适合制备薄膜的要求。 [关键词] 喷淋式MOCVD反应器；流场；温度场；Flunet；数值模拟 Numerical Simulation of Flow Field in Vertical Showerhead MOCVD Reactor Abstract This paper briefly introduced the situation of MOCVD, and based on the basic structure of the vertical showerhead MOCVD reactor , the axial symmetry model of the MOCVD reactor has been built u