BaxSr1-xTiO3微弧氧化铁电薄膜微观结构及电学性能.pdf

第44 卷 第5 期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.44 No.5 2015年9月 Journal of University of Electronic Science and Technology of China Sep. 2015 ·电子信息材料与器件· Ba Sr TiO 微弧氧化铁电薄膜微观结构及电学性能 x 1−x 3 1,2 2 2 1 3 王 敏 ，李文芳，张果戈，王晓军，唐 鹏 (1.广东技术师范学院机电学院 广州 510665; 2. 华南理工大学材料科学与工程学院 广州 510640 ； 3. 广西大学材料科学与工程学院 南宁 530004) 【摘要】用分析纯Ba(OH) •8H O 和Sr(OH) •8H O 配制电解液，采用微弧氧化法在工业纯钛板(99.5%)表面原位生成 2 2 2 2 Ba Sr TiO 铁电薄膜。研究了Ba2+/Sr2+对薄膜晶体结构、物相组成、表面形貌及表面粗糙度的影响，并对薄膜的介电、铁电 x (1-x) 3 性能进行了表征。结果表明，Ba2+/Sr2+对薄膜晶体结构无影响，但随Ba2+含量增加，Ba Sr TiO 薄膜中x值与理论值偏离越大； x (1−x) 3 随电解液浓度及Ba2+/Sr2+增加，薄膜表面变得疏松，散布的颗粒尺寸增大，表面粗糙度值增加。在Ba2+和Sr2+各为0.2 mol/L时 所得薄膜表面平整度及致密性最好，表面粗糙度值最小，其在100 Hz条件下的介电常数为454.8 ，且具有饱和电滞回线，有较 好的商业化应用前景。 关 键 词 Ba Sr TiO ; 电学性能; 铁电薄膜; 微弧氧化; 微观结构 x (1−x) 3 中图分类号 TB34 ；TN384 文献标志码 A doi:10.3969/j.issn.1001-0548.2015.05.023 Microstructure and Electrical Property of Bax Sr1−x TiO3 Ferroelectric Thin Film Prepared by Microarc Oxidation 1,2 2 2 1 3 WANG Min , LI Wen-fang , ZHANG Guo-ge , WANG Xiao-jun , and TANG Peng (1. College of Electromechanical Engineering, Guangdong Polytechnic Normal University Guangzhou 510665; 2. School of Materials Science and Engineering, South China University of Techn