《三种半导体阵列光谱组束结构的输出特性.》.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２６ ９ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．９ 　 　 年 月 ， ２０１４ ９ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｓｅ． ２０１４ 　 ｐ 　 三种半导体阵列光谱组束结构的输出特性 朱占达， 缑 龙， 姜梦华， 惠勇凌， 雷 訇， 李 强 　 　 　 　 　 　 　 　 （北京工业大学 激光工程研究院，北京 １００１２４） 摘 要： 基于光谱光束组合技术，利用光栅的衍射和外腔的反馈，并通过加入光束整形系统，将标准的半 　　 　 　 导体激光阵列的发光单元锁定在窄线宽的不同波长上，以近似平行光束沿组合方向输出，以实现半导体激光阵 列输出光束质量的改善和线宽的压窄。实验中采用发光单元宽度 ，周期 ，由 个单元构成的 １００ ｍ ５００ ｍ １９ μ μ 标准阵列，分别对快、慢轴准直后光谱组束、光束整形后光谱组束和线宽压窄外腔组束进行了实验验证，实现了 组合光束与单个发光单元近似的光束质量，同时得到了较窄的线宽输出，并对实验结果进行了分析。 关键词： 半导体激光阵列； 光谱光束组合； 衍射光栅； 窄线宽 　　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＮ２４８ Ａ 犱狅犻１０．１１８８４ＨＰＬＰＢ２０１４２６．０９１０２２ 　　 　 　　　　 　 　　 相比于ＣＯ 激光器、光纤激光器和固体激光器，大功率半导体激光器具有体积小、效率高和寿命长等优 　　 ２ 点，其功率、光束质量的提高并耦合入小芯径的光纤，在工业应用中有巨大的应用潜力，将与现有的上述其他激 光器形成竞争，成为廉价的加工设备；输出光束线宽的压窄，在高性能碱金属蒸汽激光器的泵浦中有重要的应 ［ ］ ［ ］ １２ ３４ 用价值 。但是由于半导体激光阵列本身结构的原因，整体的光束质量不高，空间亮度不高 ，主要表现在： 半导体激光器的光束质量在快慢轴方向极不均衡。一般在快轴方向接近衍射极限，而慢轴方向的光束质量极 ［］ ５ 差 ；由于半导体激光阵列中，各个发光单元之间存在着非发光区域，进一步降低了半导体激光阵列慢轴方向 的光束质量，降低了空间亮度，限制了半导体激光器在很多方面的应用。随着制造业应用、激光器泵浦和国防 领域应用需求的牵引，多种技术用于提高半导体激光器的功率和光束质量（即亮度）。其中，有效的途径包括： 半导体激光单管、阵列和堆的光束整形