Ag金属化层超声键合性能和抗氧化性能.pdfVIP

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Ag金属化层超声键合性能和抗氧化性能.pdf

46 5 Vol.46 No.5 2010 5 618—622 ACTA METALLURGICA SINICA May. 2010 pp.618–622 Cu TiN/Ag Æ ∗ (, 150001) (, 610036) TiN/Ag Cu , TiN , Cu ; Au Ag , . , TiN/Ag Cu , , 20—180 , 180 100% , Au TiN/Ag . TiN/Ag Ag , TiN Cu . Cu , , , TG457 A 0412−1961(2010)05−0618−05

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