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粉末冶金法制备-sic
论文题目:粉末冶金法制备 -SiCp/Al 电子封装材料工艺与性能研究
专 业:材料加工工程
硕 士 生:于庆芬 (签名)
指导教师:王晓刚 (签名)
摘 要
-SiC /Al 复合材料具有高导热、低膨胀、高模量、高化学稳定性、低密度等优异的
P
性能,在电子封装领域具有广阔的应用前景。粉末冶金方法具有两相混合均匀、成分控
制和材料成形均比较容易实现、可以获得高致密度的复合材料等多方面的优点,是制备
金属基复合材料,特别是颗粒增强金属基复合材料的常用方法,因此本文采用粉末冶金
方法制备体积分数为50%的 -SiC/Al 电子封装材料。
论文实验中根据振实密度、松装密度、空隙率测试结果,首次采用工业炉生产的平
均粒度为17.94µm 的 -SiC 微粉作为增强体制备铝基电子封装材料。实验中对 -SiC 微
粉进行 1100℃的高温氧化、HF 酸洗和200℃烘干的表面处理方法,除去SiC 表面的吸附
气体和水分并使其棱角钝化,提高了 -SiC 粉体的分散性,制备出了增强体分布均匀、
致密度高、孔隙少的 -SiC/Al 电子封装材料。论文研究了成型压力、烧结温度、热压压
力对材料热导率和热膨胀系数的影响,采用金相显微镜、扫面电镜和 X-衍射等方法研
究了材料的物相,组织形貌及致密度的变化。利用动态热机械分析仪测试了复合材料的
热膨胀系数,利用激光导热仪测试了复合材料的热导率,确定的比较理想的制备工艺参
数为成型压力320MPa、烧结温度1000℃、热压压力3 MPa 。
本文实验条件下制备的 -SiC/A1 电子封装材料具有比较好的综合热物理性能,在
-6 -1 -1 -1
20℃~150℃平均线膨胀系数为8.86 10 K ;在室温下其热导率为124 W m K ,可
满足大功率电子器件对封装材料的使用性能要求。
关 键 词:粉末冶金;电子封装材料;热膨胀系数;热导率
研究类型:应用研究
Subject Fabrication and ProPerties of -SiCp/Al Electronic
Packaging Material by Powder- Metallurgy
Specialty Material Processing Engineering
Name Yu Qing fen (Signature )
Instructor Wang Xiao gang (Signature )
ABSTRACT
With excellent high quality of high thermal conductivity, low expansion, high module,
high chemical stability and low density, -SiC /Al composite enj oys great potential of
P
application in the realm of electronic packaging.
Powder Metallurgy Method has the following advantages:mixing uniformity,component
easily controlled,forming more easily,geting high density composite
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