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边缘电场传感器设计与参数估计算法的研究 摘 要 Electric 边缘电场(FringingField，简称FEF)传感器是基于电容边缘效应 的传感器，由于具有单边穿透、信号强度可调以及层析成像等优点，被广泛应 用于工业过程控制中产品性能，如厚度、损伤、含水量、多孔性、粘度、密度 等非接触测量。 本文介绍了边缘电场传感器有限元模型，并分析了传感器性能指标和结构 参数。在此基础上，将传感器二维、三维模型相结合，基于正交优化设计和回 归分析选择传感器结构参数，仿真结果表明，该方法确定的结构参数可以获得 较好的性能指标。 根据优化设计得到的结构参数研制了PCB型单波长和三波长FEF传感器， 并在基于LabView的测量系统上标定。为了提高测量系统的精度，采用标准电 容法对测量电路的反馈电容进行校正。实验结果表明，研制的传感器测量重复 性效果较好，三波长传感器的通道之间无串扰。 研究了边缘电场传感器参数估计算法，分别针对单波长和三波长传感器提 出线性回归和多元非线性回归算法，建立了传感器互导电容值与被测样本介电 常数之间的函数关系。 利用所研制的单波长和三波长FEF传感器进行了绝