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硕士论文 NEAGaN光电阴极多信息量测控与智能激活技术研究 Ⅲ㈣IJf||㈣洲㈣||JJJⅢ¨|ffl|洲 摘要 Y2061971 近年来，一种新型的紫外探测光电阴极——GaN引起了人们高涨的研究兴 趣，NEAGaN光电阴极具有高量子效率、低背景噪声、发射出来的电子能量和 角度分布集中等优点，这些优点决定了其具有广泛的应用范围，如通信、自然灾 害预警、高压放电探测、天文学、平板印刷等领域，NEAGaN光电阴极已经成 为一个研究热点。 本文围绕NEAGaN光电阴极制备、激活和评价方法等展开研究工作。先介 绍了NEAGaN光电阴极的发展历史和其自身特点，阴极外延生长工艺，激活工 艺控制研究进展；其次介绍了激活系统的监测系统——-NEA光电阴极多信息量 测试系统，改进了测控系统，增加了四极质谱计到系统中，可用于阴极激活和净 化过程中测试真空室环境变化情况；再次是介绍了激活工艺，详细论述净化方法 和CS／O激活方法；最后以蓝宝石为基底，本征GaN为缓冲层，用MOCVD技 先对样品进行净化，然后利用NEAGaN光电 术生长一种p型掺杂GaN样品， 阴极多信息量测试系统和激活系统对样品进行Cs／O激活实验，在线测试激活过 程中的光电流和激活后的阴极量子效率曲线，对实验结果进行分析讨论。 关键词：NEA，GaN光电阴极，光谱响应，激活，量子效率，多信息量 Abst阻ct 硕士论文 Abstract Inrecent ofUVdetection years，an鲫type photoc砒ode(GaNphotocathode) h嬲arouSed NEAGaN h2Ls peopleIsstudyiIltere瓯The photocamodemanyadVantages： elec仃onemittedhas e伍ciency，10wda出咖t，me na肿w％ergy hi曲qu柚tllIn dis缸伯嘶on ithasawide of distribmion，so r趾ge and姐gle applications，such舔 锄munication，disaSter detectioIl， w锄ing，hi曲．preSsuredischa略e astronomX NEAGaN h嬲becomeahot li岫鲫hy．The photoc砒ode rese砌topic 111is focIlsesareme m甜lodofNEAGaN paper’s gro、砌1 photocamode， 删vation觚deValuation des甜besthe tlle of m甜10ds．FirsnM histo巧ofdevelopment NEAGaN aIldits photocamode growchmelllods，the adVantages，