vo2薄膜材料备及其性能测试.pdfVIP

摘 要 二氧化钒是一种具有特殊相变性能的功能材料 随着温度的变化 二氧化钒会发生 从半导体态到金属态的可逆变化 同时 电阻率和光谱透射率等物理性质也发生突变 其相变点在68 附近 接近室温 二氧化钒的应用非常广泛 目前主要用在热探测仪或夜视仪的红外焦平面上 西方 国家已经有产品 并在军队中广泛使用 此外利用其光学相变性能 二氧化钒薄膜相变 光开关以其纳秒级的开关时间 将成为全光通讯的理想选择之一 二氧化钒薄膜还应用 在抗激光辐射上 对现代战争中的卫星探测窗口的防护意义重大 国外已经有相关报道 国内二氧化钒的研究应用还处于较低的水平 关键的原因是二氧化钒薄膜的制备难度较 高 测试较复杂 本文主要研究了反应溅射制备二氧化钒薄膜的工艺方法 分析了各个控制参数对薄 膜质量的影响 并给出了工艺参数 反应溅射中O2 和Ar 的分压比 热处理中的加热温 度是影响薄膜成分和质量的最关键因素 薄膜质量是通过其相变性能测试来确定的 四 3 探针法测量了薄膜电性能 薄膜电阻率平均变化达到10 比理论上只相差一个数量级 搭建了光学测试平台 首先使用较粗糙的电阻丝直接加热的方法 测得薄膜的消光比达 4 5dB 相对于文献报道的11dB有一定差距 设计了金属薄膜框格结构作为微加热器 有效的改进了加热方法 测得薄膜消光比达到 10dB 与文献报道相近 已经达到实用 化水平 文章最后简要给出了在光开关和抗激光辐射两方面应用的尝试结果 关键词 二氧化钒 相变 反应溅射 I ABSTRACT VO2 is a special function material, which undergoes a semiconductor-metal phase transition approximately at 68 degrees Celsius which is near room-temperature. The transition is accompanied with abrupt changes in its electrical and optical properties. VO can be used in many fields. VO thin film is adopted for the bolometer material of 2 2 uncooled infrared (IR) Focal Plane Array (FPA), and the product has already been developed in developed countries and equipped in their army. Utilizing the sharp and reversible optical switching in the IR region of the spectrum, phase transition optical switch can be developed using VO2 as the function material, which has switch time of ns grade and can be used in high-speed optical communication promisingly. VO2 thin film is also used in anti- laser protection technology to safeguard the satellites from laser attack, and