uv激光器减反膜的研制.pdfVIP

下载本文档

8
0
约4.82万字
约 44页
2015-12-05 发布于四川
举报
版权申诉

uv激光器减反膜的研制.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

uv激光器减反膜的研制

摘要为了提高全固态紫外激光器的使用寿命和效率，降低其各光学元件的表面反射光学损耗，提高转换率，增强紫外倍频光的输出功率，在光学元件表面镀制高透过率的减反射膜，是解决问题的重要方法。本文简要介绍了紫外减反射膜的应用，具体针对工作波段在240m～280m高透的减反射膜进行了制备和研究。运用 T麟700．2型箱式真空镀膜机，采用电子束加以离子辅助沉积系统来镀制薄膜，通过对工艺参数的调整，提高抗激光损伤阈值，减小薄膜吸收，使其满足短波激光薄膜的工作要求。依据薄膜光学的理论基础，利用膜系设计软件TFC设计并优化得到最终的膜系，选择适用于紫外波段的薄膜材料进行对比分析，在JGSl基底上，线，测试其平均透过率达到99．5％以上。利用连续激光测试仪测试其抗激光损伤阂值为10J／cm2。关键词：光学薄膜离子辅助沉积激光损伤阈值紫外激光器 ABSTRACT ofsolid．stateUV In theservicelifeaIld lasers，reduce ordertoimprove e伍ciency thesurf．aceofthe lossesduetorenectionofits optical optical out ofUV rate conversion llight}lrough rate，enhanceputpo、ver h锄onic，coateding antireflectivefilmin surfaceisthesolutiontothe of opticalcomponents problem the ofultraVioleta11tirenectiVe method．Thisanicleintroduces impoIrtallt application filmin and theantirenectiVe reacllinghight11rough working film，specificallymal(ing ofshortwaVelaSer 240m～280m．For the film，use balld contentingjobrequiremem 2 vacuum electronbeamtoion macllines，use auxma巧 TXX700．typeboxtype coating tocoated resistallceto sedimentarysystem film，a由usttectlllologicalpar锄eter，improVe 1aser tothetheoretical