点衍射干涉仪关器件设计与基准波前分析.pdfVIP

硕士论文 点衍射干涉仪关键器件设计与基准波前分析 摘 要 点衍射干涉仪采用d,：YL衍射的球面波作为参考光，具有无需参考面、测试精度高等 优点。为了实现对激光器出射波前质量的检测，本论文基于传统点衍射干涉仪，设计了 准直波前干涉测试系统，对系统中关键器件的性能与核心参数进行了研究。 为了得到清晰明亮且稳定的干涉条纹，解决参考光束和测试光束光强匹配问题，基 于标量衍射理论，采用菲涅尔子波叠加原理，获得了系统中小孔衍射参考波前的远场光 强分布。对比分析了小孔直径不同、小孔横向离焦、小孔轴向离焦时的光强变化。仿真 结果表明-5孑L直径越小，光强越均匀，小孔横向和轴向有偏差时，光强值非单调变化。 为了保证点衍射干涉系统的测试精度，采用菲涅尔衍射积分公式，对影响小孔衍射 参考波前质量的因素进行了仿真研究，具体包括：小孔直径偏差、形状偏差、入射波前 像差、横向对准偏差、轴向调整误差。结果表明，入射波前像差(主要是彗差和像散) 以及d,：YL的横向对准偏差对干涉系统的检测精度有较大的影响。 使用白光干涉仪对点衍射板小孔参数的检测进行了实验研究。结果表明当检测微米 量级小孔时，采用基于相位解调白光干涉信号的测试方法比基于包络解调的重复性更 好，可信度更高。构建了10urn针孔衍射波前检测实验系统，将衍射波前的实验结果与 验中的误差来源及影响。 关键词：波前检测，点衍射干涉仪，标量衍射，参考波前，小孔参数检测 Abstract 硕士论文 Abstract A diffraction berealized the point interferometer(PDI)carlbyusingnear．perfect wavediffracteda asreferencewavefront．Inordertomeasurelaser spherical by pinhole ontraditional wavefront，based collimatedwavefront is and PDI，a testingsystemdesigned set inthis andcore ofthe up paper．Theproperty arestudied． parameterskeycomponents Basedonthe scalardiffraction Fresnelwavelet theory,using superpositionprinciple， far-field distributionofthe intensity referencewavefrontdiffracteda isaccessed bypinhole inordertoobtain andstableinterferenceensurethefar—field clear,bright fringes，to intensity— betweentheinterferencebeams．The is matching intensitychanges withdifferent