点光源阵列多重面自由曲面检测系统设计与研究.pdfVIP

硕士论文 点光源阵列多重波面自由曲面检测系统设计与研究 摘 要 光学自由曲面，相比传统光学面形其面形自由度更大，由于表面曲率变化很大，光 学自由曲面的精确检测也是近年来产生的难题。为了实现光学自由曲面的通用化检测， 本论文基于局部波前梯度补偿思想，设计了一套点光源阵列多重波面干涉检测系统。该 系统具有非零位测量、测量动态范围大、空间分辨率高、不引入子孔径扫描机械误差、 测量精度高等特点。 本文基于减小被测波前斜率的方法，主要研究了可用于光学自由曲面非零位检测的 硬件光路系统以及点光源阵列补偿波前斜率技术等。本文研究设计的系统可以实现法线 偏离最佳拟合球面法线士100，口径060的光学自由曲面的干涉图获取。主要结构包括典 型Tyman干涉系统、球面补偿标准镜组和基于点光源阵列的斜率补偿模块。采用Tyman 干涉结构，利用“黑盒子”原理采用光路逆向追迹的方法设计了球面补偿标准镜组。根据 系统设计要求，研究了基于点光源阵列斜率补偿模块的设计方法，对微透镜阵列的结构 参数进行测量论证。最后介绍整个光路系统的装调方法和过籽分析了系统装调结果。 实现了对平面、球面、非球面以及自由曲面眼镜片的干涉图获取，为后续的软件算法设 计和系统的误差评价标定奠定了基础。 关键词：光学自由曲面，非零位干涉检测，微透镜阵列，多重倾斜波面 withwavefrontswavefrontswavefrontswithwithwhoswavefrontswithwholeworkwavefrontAbstractmulti—wavefrontmodulemodulemicrolensmeasurementmechanicmethodmethod．TomeetmethodreverseuniversalbestbasedbecomebasesbasisbasicbasicrecentThisherehaveaaaSOashashasrealizenon-nullnon—nullresearchedresearchedonon．onononnormalresults．Wecanandandandandanderrorotheroforderofofofofofofofof600on“Blackofofofofobtainofoftotesttesttesttesttesttesttracefleefocusfreeformfitfreeformfoundationfreeformandandanddissertaioncharaterisficsdissertaiondeviatedissertaiondissertaionfreeformfreeformfromfreeformfuroreextent．Becausethethisthethethetestedthethisthetheestimate．IIthethethethesurfacesurfacestandardseriessuchsoftwaresurfacesourcestructure．BasedsurfacesourcelocallenslensdiameteritsininterferometeritsisitsincludesinstallizafionstandardInteferometerlast1interferometerintroduces·the 硕士论文 点光源阵列多重波面自由曲面检测系统设计与研究 目 录 摘 要………………………………………………………………………………………………。I Abstract…．……………………………………………………………．．．……．……………………．．II 目 录……………………………………………………………………………………………．．III 1 弓I言…………………………………………………………………………………………………1 1．1课题背景……………………………………………………………………………．1 1．2国内外研究现状……………………………………………………………………．2 1．3本论文主要研究内容………………………………………………………………．4 2光学自由曲面检测技术……………………………………………………。6 2．1反射光栅摄影测量