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等厚干涉仪对大寸平面度的数字化测量
硕士论文 等厚干涉仪对大尺寸平面度的数：乒化测量
lIIII 1 I IIII I IIIIlll IIl
摘 要
平面度测量是几何量计量中的一项重要组成部分。平晶，作为对平面的平面度、直
线度、平行度以及研合性进行检测的基本计量器具，对其本身平面度的有效精确测量就
显的尤为重要。本文研究对中国计量科学院生产的C4．1型等厚干涉仪进行修复以及数
字化改造，对平面平晶以及长平晶平面度进行测量。
在论文中，对比介绍了平晶平面度的几种检定方法，并且通过理论和实践对等厚干
涉仪测量平晶平面度的方法进行了分析研究。首先对C4．1型干涉仪进行了结构及光路
的分析，研究改造的可行性；接下来，对干涉仪进行改造，加装激光器、CCD相机、
标准平晶支架等；然后对CCD相机采集到的干涉条纹图像进行滤波、细化等处理，并
计算被测平晶的平面度；再后研究等厚干涉仪对长平晶的拼接测试方法；最后分析研究
利用改造后的干涉仪对平面度测试的不确定度。经计算以及实验验证，改造后的干涉仪
满足了对①lOOmm以下的二级平晶和210ram、3
10mm的长平晶的检定要求。
关键词：等厚干涉仪，平面度，图像处理，不确定度分析
Abstract 硕上论文
Abstract
Me舢ememofflatnessisan ofthemeasurememof a
part geometricquantities．As
important
common flatcanbeusedtomeasuretheflatnessand
measuringmstrumem，optical
tomeasuretheflatnessofthe fiat
parallelism．So，it’Sespeciallysignificant opticaleffectively
aboutthemeasurememoftheflatnessofthe
and thesiscardedontheresearch
accurately．The
flatand flat theC4-1 thickness
optical longopticalusing planeequal
was theNationalInstituteof of and
China,after
developedby Metrology repairedupgraded．
In test flatnesswerediscussedand
this methodsof compared．Andaccording
paper,some
measurementofflatnessthe thickness
tothe and methodof usingequal
theorypractice，the
interferometerwasresearchedand
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