多孔硅薄膜湿度感器的研制.pdf

Y，635262 郑州1人学硕：1：学位论史 摘要 摘要 cm)、取向为 本文用掺杂度较高的(p=1．5×10。1Qcm或p=1．5×10。2Q (111)的P型原始硅片水热腐蚀制备了铁钝化多孔硅(iron—passivatedporous 350。C退火处理，制成了IPS湿敏元件。另外，采用微乳．水热法制备了纯度高、 粒径均匀的Fe304纳米粉，进一步制备了IPS／Fe304复合材料，并且制成了 IPS／Fe304湿敏元件。 研究了IPS和IPS／Fe304的表面形貌、结构，通过不断优化制各条件(如， 原始硅片的参数、腐蚀液中HF酸浓度和Fe3+浓度、水热处理的温度和时间等) 找到了制各具有最佳表面形貌和最佳感湿性能IPS样品的水热腐蚀条件，并发 现复合材料IPS／Fe304继承了IPS的形貌、结构特点。 重点研究了以IPS为感湿材料制成的湿敏元件的感湿特性，并与传统的电 化