多层膜声表面波件linbolt;,3gt;、h-bn薄膜的制备及分析.pdfVIP

摘 要 摘 要 无线通信、光纤通信系统飞速发展，低频段已经被占满，必须向高频段发展。高频声表面 波(SAW)器件使用频率的升高，使它在雷达、电子战、声纳、无线通信、光纤通信系统中正 的极限，在牛产中遇到许多问题。 金刚石具有所有物质中最高的声速、最高的热导率，2．5Gl-lz对应的指宽d可以大于1 gm， 膜SAW器件。铌酸锂是一种重要的压电材料，根据理论计算，其与金刚石构成的多层 膜结构具有高声速高机电耦合系数的特点。 本文围绕GHzSAW器件的研制，开展了用射频磁控溅射法在高声速衬底金刚石上 制备铌酸锂薄膜及六方氮化硼薄膜，利用XRD对薄膜的结晶性能进行分析。主要工作 如下： 首先，利用RF磁控溅射法采用铌酸锂粉末靶在金刚石衬底上制备铌酸锂薄膜，着 重研究了衬底温度和溅射功率这两个工艺条件对薄膜性能的影响， 最终得出在衬底温 取向，优化了沉积LN薄膜的工艺参数。 其次，在金刚石衬底沉积工艺条件的基础上，采用铌酸锂陶瓷靶，在硅衬底上溅 艺条件下