大量程光纤准白干涉绝对测距技术研究.pdf

摘 要 本文论述了一种利用光纤干涉仪结构，准白光干涉原理及多光纤组量程 倍增技术实现无长导轨大量程、高精度绝对测距技术，从而把传统的激光干 涉技术发展到了工业现场。 系统由定位干涉仪和光栅线位移传感器两部分组成，完成对目标的定位 过程和扫描测量过程的分离，实现可间断的绝对距离测量。定位干涉仪光源 采用经过注入电流调制的多纵模半导体激光器。多纵模半导体激光器经过一 定频率注入电流调制后，输出光频将被展宽，根据准白光干涉原理，可实现 高精度定位。论文详细阐述了调制原理和方法，通过实验验证，取得了良好 的调制效果。考虑到光栅线位移传感器结构小巧且测量精度较高，由其完成 对扫描位移的测量，并给出零位信号。这样，可在不需要分光的前提下为系 统提供一个掉电不丢失的零位。 系统采用光开关结构和多组具有不同初始光程差的光纤组进行两级量程 倍增。首先由光开关选定不同的量程范围，然后由多组具有不同初始光程差 的光纤组实现这一量程范围内的测量。通过这种多光路干涉技术可摆脱长导 轨的束缚，实现只利用短导轨测量大距离。此外，论文还讨论了利用系统自 身结构对多组光纤组的初始光程差进行标定，实现了以光波波长为传递基准 的高精度自标定，可有效避免安装时引入安装误差。 论文详