移相器在自适应振干涉仪中的应用.pdfVIP

摘 要 本文介绍了抗振干涉技术的发展情况，比较了几种自适应抗振方法，结合 实验室条件及振动对干涉条纹的影响，确定了机电反馈式自适应抗振方案。本 文重点描述了移相器的工作机理，详细说明了用光电相结合的方法对移相器进 行在线频响测试、伸长量测试、容性测试等。根据测试的结果，研制了能满足 抗振干涉仪要求的PZT驱动电源：搭建了移相抗振系统，实现了自适应抗振干 涉测量。 关键词：干涉技术、移相器、性能测试、抗振 Abstract of this The vibration—resistant In papeLdevelopment be methods andseveral vibration-resistant adaptive