表面弹性波马达研究与设计.pdfVIP

燮翌鲨塞 !竺!坚 摘 要 性波马达是一种以电声换能器产生表面弹性波，并通过马达动子和定 子 擦将表面弹性波振动转换为马达动力的新型执行器。它克服了许多其 他执行器的缺点f具有高速度、大推力、小步距、快响应等特点，是一种很有潜 力 的微执行器J本论文以理论分析、计算机仿真和实验相结合的方法，研究了表 面弹性波马达技术。主要的研究工作总结如下： 通过对不同介质中的弹性波方程和表面弹性波边界条件的研究，对各向同 性、各向异性以及压电介质中的表面弹性波行为进{YT详细的讨论。首次探讨了 用瑞利波近似表面弹性波马达定子换能器(厚度远大于表面弹性波波长)平板振 动模式的有效性。 探讨了表面弹性波马达三种可能的接触传动机理，并以表面弹性波马达动子 速度与驱动电压呈线性的关系，首次证实了表面弹性波马达的工作原理是接触摩 擦传动。以计算球体一平面挤压形变的赫兹公式和计算摩擦力的库仑定律为基 础，建立了表面弹性波马达的运动模型。并用Euler数值计算方法对不同工作条 件下的表面弹性波马达暂态响应做了仿真，揭示了各种因素对表面弹性波马达运 行的影响。 ● f在128度旋转，Y向切割，x向传播的LiNb03晶片上，设计、并用光刻技 术制作了电极周期为400pn，电极线宽为lOOam的叉指型表面弹性波换能器。 用自行设计的等效电路测量方案，测量了表面弹性波马达换能器的输入阻抗，实 验结果显示表面弹性波换能器的共振频率为9．586膨№，辐射声电阻为44．6Q， 叉指电极静电容为194pF。它们与设计值共振频率9．6MHz，辐射声电阻50f2， 叉指电极静电容200pF符合得很好。y＼／、 详细介绍了本课题组首次提出的用原子力显微镜微探针与光束偏转法测量 纳米振动的新方法。并用这种方法在激振电压峰峰值为3．5V时，对压电材料 LiNb03表面弹性波进行了实时测量，得到表面弹性波振幅约为6．7nm。 完成了表面弹性波马达射频驱动电源功率放大器，机械结构的设计与制作， 成功研制出一台表面弹性波马达样机。以数字摄像测速技术测得驱动电压峰峰值 为80y时，表面弹性波马达平均速度约为20mlr／／s。 ＼／k／。／、／ 关键词：表面弹性波马达；微执行器；微机电系统；定位控制 塑垩奎兰堡主兰竺丝苎——一垒堕坚!L Abstract isanovelmicro Surfaceacoustic actuator，which wave(SAW)motor generates it transducerandtransferstothe ofSAWmotor withelectroacoustic SAWthe power the the forcebetweenthesliderand stator．Itovercomes bythefrictional other hasthe ofthe actuators，andadvantagesofhigh driving disadvantages speed，big micro this sizeandfast isa actuator．In force，