《一种光纤组量程扩增的激光频率扫描干涉绝对测距系统 A Range Amplified Absolute Distance Measurement System with Laser Frequency Sweeping Interferometry by Optical Fiber Pairs》.pdfVIP

V01．47 第47卷第9期 西 安 交 通 大 学 学 报 No．9 OFXI’AN UNIVERSITY 2013年9月 JOURNALJIAOTONG Sep．2013 DOI：10．7652／xjtuxb201309013 一种光纤组量程扩增的激光频率 扫描干涉绝对测距系统 吕涛，刘志刚，邓忠文，陶龙，龚海 (西安交通大学机械制造系统国家重点实验室，710049，西安) 摘要：为解决激光频率扫描干涉(FSI)测距系统随着目标距离增大测量精度下降的问题，提出了 一种利用光纤组量程扩增技术实现大尺寸绝对测距的精度补偿方法。采用参考光路光程可变递增 的方法，建立了光纤组量程扩增的激光频率扫描干涉绝对测距系统，通过FSI原理实现了量程扩增 部分光程差的自标定。对应不同测量目标，通过粗测和精确测量，实现了系统原点自标定、光纤通 000 道切换和目标值的精确测量。实验结果表明，在测量距离大于3 mm后，光纤组量程扩增测距 700 系统具有更高的绝对距离测量重复精度，在6 mm目标位置的绝对距离重复精度比FSI测距 系统的重复精度提高了2．4“m，并且在大尺寸测量方面更具有一定的优势。 关键词：激光频率扫描干涉；光纤组量程扩增；原点自标定；大尺寸测量 中图分类号：THl61．21文献标志码：A 文章编号：0253—987X(2013)09—0077—06 A AbsoluteDistanceMeasurementwithLaser RangeAmplified System FiberPairs FrequencySweepingInterferometrybyOptical LUTao，LIU Hai Zhigang，DENGZhongwen，TAOLong，GONG (State for 710049，China) KeyLaboratoryManufacturingSystemsEngineering，Xi’anJiaotongUniversity，Xi’an of with Abstract：A methodfor scaleabsolutedistancemeasurement precisioncompensationlarge range technology fiber is canbeusedtomaintain amplificationbyopticalpairsproposed，which measurementforlaser withect accuracy frequencysweeping obj