传感器技术及其工程应用 作者 金发庆 第1章 传感器技术基础.pptVIP

1.5 传感器的材料与制造 1.5 传感器的材料与制造 传感器是利用材料的固有特性或开发的二次功能特性，再经过精细加工而成的。传感器的材料和制造是传感器性能和质量的关键。 1.5.1 传感器的材料 1.半导体材料 （1）单晶硅 （2）多晶硅 （3）非晶体硅 （4）硅蓝宝石 （5）化合物半导体 2. 陶瓷材料 3. 石英材料 4. 金属氧化物及合金材料 （1）ZnO薄膜 （2）非晶态磁性合金材料 （3）形状记忆合金材料 5. 无机材料 6.有机材料 7.生化材料 8.高分子敏感材料 9.合成材料 10. 智能材料 （1）能够检测并且可以识别外界或内部的刺激强度的感知功能； （2）能够响应外界变化的驱动功能； （3）能够按照设定的方式选择和控制响应； （4）反应比较灵敏、及时和恰当； （5）当外部刺激消除后，能够迅速恢复到原始状态。 1.5.2 传感器制造技术 1.部件及子系统加工 （1）半导体加工技术 （2）硅微机械加工技术 （3）集成光学技术 （4）厚膜－薄膜技术 （5）纳米技术 （6）激光加工技术 2.系统的集成 （1）硅加工－机械加工 （2）键合－粘接、焊接、封接 （3）接线－焊接连线 （4）基底－激光打孔 3.硅微机械加工技术 是集成电路工艺和微机械加工技术的结合，用于微机电系统（MEMS）的加工，包括： （1）