工艺波动对纳米度mos集成电路性能影响模型与相关方法研究.pdfVIP

摘 要 随着半导体工艺的特征尺寸进入纳米数量级，日趋复杂的硅基MOS集成电 Circuit IC)制造流程使得精确的工艺控制变得越来越困难，而芯片 路(Integrated 实际几何图形和纵向结构的不确定性导致器件的工作状态及其特性参数与设计 目标产生显著偏离，产生工艺参数变化或工艺波动(ProcessVariation PV)现象。 而且这一现象随着持续缩小的特征尺寸愈趋严重，使电路的性能和成品率受到极 for DFM) 大影响。因此，工艺波动引起的可制造性(Designmanufacturability 问题己成为纳米尺度IC设计和制造中亟待解决的技术瓶颈和重要挑战。 本文先探讨了IC制造中的内在波动源一一随机掺杂波动(Random dopant Fluctuation RDF)及其概率密度分布，并用统计分析方法推导了RDF引起的阈 值电压偏离标准差的简洁表达式，得到芯片上阈值电压的概率密度分布函数，该 方法和得到的模型具有简洁和精确较高的特点。接着研究了RDF影响沟道载流 子有效迁移率雎ff以及电流增益因子腊参数的改变及其引起的电流失配，在详细 研究失配模型的数学理论基础和已有模型特点基础上寻找并应用一个简单又有 流失配解析模型。同时利用该模型，推导了既简单、有效又能保证精度的RDF 引起的电流失配模型。 MOS电流的变化将影响模拟电路精度、功耗和带宽等各种性能和数字电路 时序的偏差。因此本文实现了工艺波动RDF引起的用于模拟集成电路仿真分析 的电路模型，并以基本电流镜为测试电路仿真验证，计算并得出电路在不同面积 和偏置等设计条件下的性能参数关系表达式，并用于显示特定工艺波动下IC设 计者选择器件面积和偏置条件对电路性能影响差异。再利用平均电流模型以 CMOS反相器为测试电路，推导了数字电路时延及其变化标准差的解析模型，并 用HSPICE的蒙特．卡罗仿真验证其精度和可靠性。 论文最后介绍了分析、设计、优化和控制IC工艺波动的相关数学和统计方 法，主要包括。空间分析法、主成分分析法和响应曲面法。并将统计实验设计 (DOE)中的稳健设计方法与人工智能中的神经网络方法相结合，提出了数字逻 辑函数的神经网络稳健设计方法，只要适当地扩展因子变量水平和取值，即有望 用于IC工艺波动的优化设计中。 关键词：纳米工艺； MOS器件；工艺波动； 器件模型； 集成电路CAD； VLSI统计分析 Abstract As featuresizeofsemiconductorissealedtOnano process regime，silicon—based MOS has integrated become circuit(If)manufacturing increasinglycomplex．This willmake controlbecome difficultandresultinthe preciseprocess increasingly actual mechanismand chipgeometry．internal characteristics structure．working