集成光波导的设与分析.pdfVIP

摘要 摘要 在传统的电互连中，电子是传递能量的载体，因而电互连遭遇着寄生参数以 及电磁干扰的困扰。随着对超高速电路系统的应用和大数据量传输的需求的增加， 电互连已然成为影响系统带宽、数据误码率等系统性能的重要因素。而光互连以 光为传输载体，具有超高速以及抗电磁干扰等优良特性，成为在高性能要求领域 代替电互连、完成高效率信息传输的良好选择。光电集成将光互连系统与电路系 统进行集成，一方面使得光学系统的体积减小、稳定性及效率得到提高、功耗降 低，另～方面极大地改善了电路系统的互连效率，成为信息技术发展的一个重要 方向。光波导是光电集成中光互连的实现方式，另外为了利用成熟的微电子工艺 平台，与微电子标准工艺兼容是光电集成需要考虑的重要问题，因此硅基光波导 的性能好坏及实现方式是实现光电集成的关键。 本文用导波光学理论对光波导进行了分析，鉴于严格求解波动方程的复杂性， 因而探讨了使用数值计算方法有限差分传输光束法对光波导进行计算的原理与方 式。然后分析比较了光波导的常用材料及结构，并对基本的硅基光波导进行研究。 具体考查SOl和Si02两种材料，使用脊型和矩形端面的光波导。通过近似解法等 效折射率法和马卡梯里近似法对脊型和矩形端面光波导进行理论分析，然后依据 单模条件仿真迭代设计出支持单模传输的光波导，使用bend．simulated方法仿真弯 曲波导，分析波导的弯曲损耗特性、相互间的耦合干扰以及分叉角度和分叉区形 状对Y分支功分器辐射损耗的影响。设计出相应的Y分支和1×4功分器对所研 究波导的整体性能进行验证。对所设计的S01脊型、SOl矩形、Si02脊型、Si02 矩形光波导各项性能做了对比与讨论，说明使用Si02矩形光波导进行光电集成最 为适宜，并且在对性能要求不高的场合，使用S01脊型光波导代替Si02矩形光波 导可以获得对工艺精度较小的依赖性。另外，使用S型分支臂来实现Y分支功分 器可以在保证性能的条件下得到高的集成度。 关键词：光互连光电集成硅基光波导Y分支功分器有限差分光束传输法 Abstract Abstract encounteredtheeffectof and Electricalinterconnectionhas parasiticparameters carrierof electronisthe energy Electro Interference(EMI)because Magnetic interconnection．Ithas hada effect inconventionalelectrical alreadybig transmission biterror asthe widthof and on such band system ratio(BER)with systemperformance the of circuitsand our of applicationsuper-·high--speedlarge increasingrequirements hasthemeritsof and transmission．Asinterconnection data optical su