先进制造技术3.ppt

图3.7 电火花线切割加工原理 返回 图3.8 快走丝线切割机床 返回 图3.9 慢走丝线切割机床 返回 图3.10 数控线切割加工的生产应用 返回 图3.11 数控电火花线切割加工机床的基本组成 返回 图3.12 电解加工示意图 返回 图3.13 电解加工成形原理 返回 图3.14 电解加工整体叶轮 返回 图3.15 电解磨削加工原理 返回 图3.16 平面磨削示意图 返回 图3.17 激光加工原理图 返回 图3.18 超声波加工原理图 返回 图3.19 超声波加工的型孔、腔孔类型 返回 图3.20 超声波切割加工 返回 图3.21 电子束加工原理图 返回 图3.22 离子束加工原理 返回 图3.23 电铸原理图 返回 表3-2 超精密加工主要应用 返回 图3.24 美国光学超精密车床 返回 图3 25 极限切削厚度与刃口半径ρ 的关系 返回 图3.26 光刻加工过程 返回 图3 27 LIGA制作零件的过程 返回 图3.28 萨洛蒙曲线 返回 图3.29 快速原型工艺流程 返回 图3.30 SLA工艺原理 返回 图3.31 LOM 工艺原理 返回 图3.32 SLS工艺原理 返回 图3.33 FDM 工艺原理 返回 图3-34 快速成形制造在快速模具上的应用 返回 谢谢观赏 3.4 微细/ 纳米加工技术 3.4.3 纳米加工技术 纳米技术是一门在0.1~100nm 的尺度空间内研究电子、原子和分子等的结构特性、运动规律和相互作用的崭新学科,它是现代物理(介观物理、量子力学、混浊物理)和先进技术(微电子、计算机、扫描隧道显微技术)相结合的产物,并由此派生出的一系列高新科学技术。它是在20世纪80年代末20世纪90年代初逐步发展起来的。 1. 纳米材料的种类 纳米材料是指显微结构中的物相具有纳米级尺度的材料。它包含了三个层次,即纳米微粒、纳米固体和纳米组装体系。纳米材料按其材料的性质、结构和性能可有不同的分类方法。 (1)纳米微粒 上一页 下一页 返回 3.4 微细/ 纳米加工技术 纳米微粒是指线度处于1~100nm 的粒子的聚合体,它是处于该几何尺寸的各种粒子聚合体的总称。纳米微粒的形态并不限于球形,还有片形、棒状、针状、星状和网状等。一般认为,微观粒子聚合体的线度小于1nm 时,称为簇,而通常所说的微粉的线度在微米级。纳米微粒的线度恰好处于这两者之间,故又被称作超微粒。 (2)纳米固体 纳米固体是由纳米微粒聚集而成的凝聚体。从几何形态的角度可将纳米固体划分为纳米块状材料、纳米薄膜材料和纳米纤维材料。这几种形态的纳米固体又称作纳米结构材料。 (3)纳米组装体系 上一页 下一页 返回 3.4 微细/ 纳米加工技术 2. 纳米材料的基本效应 (1)小尺寸效应 当微粒分割到达一定程度时,在一定的条件下会引起微粒性质的质变。由于微粒尺寸变小所引起的宏观物理性质的变化称为小尺寸效应。纳米微粒尺寸小,表面积大,在熔点、磁性、热阻、电学性能、光学性能、化学活性和催化性等方面都发生了变化,产生一系列奇特的性质。例如,金属纳米微粒对光的吸收效果显著增加,并产生吸收峰的等离子共振频率偏移;出现磁有序态向磁无序、超导相向正常相的转变。 (2)量子效应 各种元素原子具有特定的光谱线。 上一页 下一页 返回 3.4 微细/ 纳米加工技术 由无数的原子构成固体时,单独原子的能级就并合成能带,由于电子数目很多,能带中能级的间距很小,因此可以将其看作是连续的,从能带理论出发成功地解释了大块金属、半导体、绝缘体之间的联系与区别,对介于原子、分子与大块固体之间的超微粒而言,大块材料中连续的能带将分裂为分立的能级;能级间的间距随微粒尺寸减小而增大。 3. 纳米级加工精度 作为一种加工方法,纳米级加工同样存在精度的表征问题,通常包括纳米级尺寸精度、纳米级几何形状精度和纳米级表面质量。 (2)纳米级几何形状精度纳米级几何形状精度在精密加工中经常遇到。如精密轴和孔的圆度和圆柱度;精密球(如陀螺球、计量用标准球)的圆度;制造集成电路用的单晶硅基片的平面度;光学、激光、X射线的透镜和反射镜、要求非常高的平面度或是要求非常严格的曲面形状等。这些精密零件的几何形状直接影响它的工作性能和工作效果。 上一页 下一页 返回 3.4 微细/ 纳米加工技术 (3)纳米级表面质量 试件的表面质量不仅仅指它的表面粗糙度,而且包含其表层的物理状态。高精度反射镜的表面粗糙度、变质层会影响其反射效率。微型机械和超微型机械的零件对其表面质量亦有极其严格的要求。 4. 纳米级加工的物理实质 纳米级加工中试件表面的一个个原子或分子成为直接的加工对象,因此,纳米级加工的物理实质就是要切断原子间的结合,实现原子或分子的去除。由于原子间的距离为0.1~0.3nm,实际上纳米级加工已达到了加工精度的