质量控制与检测技术 作者 于万成 第五章nbsp.pptVIP

?第五章?传感技术及其应用 学习目的：熟悉常用的各类传感器的结构及应用，了解智能传感器的特点及传感器的发展方向。重点掌握数控机床中常用的传感器及其检测装置。学习重点：掌握数控机床常用传感器及其检测装置。  ?第一节?? 传感器概论 一、传感器的基本概念 国家标准把传感器(Transducer/Sensor)定义为:能感受规定的被测量，并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置。通常传感器由敏感元件和转换元件组成。敏感元件指传感器中能直接感受被测量的部分；转换元件指传感器中能将敏感元件输出量转换为适于传输和测量的电信号部分。 二、传感器的组成及分类 1.传感器的组成 传感器一般由敏感元件、转换元件、转换电路等三部分组成。 敏感元件和转换元件是传感器的核心。它们的作用是直接感受被测物理量，并将信号进行必要的转换输出 。 转换元件也称传感元件，通常不直接感受被测量，而是将敏感元件输出的物理量转换成电量输出。 转换电路又称辅助器件，它们是一些能把敏感器件输出的电信号转换为便于显示、记录、处理的电信号的装置；使将转换元件输出的电参量转换成易于测量的电参量，电压、电流或频率等。 2.传感器的分类 表5-1 传感器分类 三、传感器的作用和地位 主要表现在以下三个方面: (1)信息的收集 (2)信息数据的交换 (3)控制信息的采集 四、传感器的基本特性 1.灵敏度 灵敏度是指传感器在稳态下，输出变化量与输入变化量之比值。 2.线性度（非线性） 线性度又称为非线性。它是指传感器输入与输出之间的关系曲线与选定的工作曲线(有时亦称为理论直线)的靠近程度。 3.迟滞 迟滞又称为回差。指传感器在输入值增长的过程中(正行程)和减少的过程中(反行程)，同一输入量下输出值的差别。 4.分辨率 分辨率是指传感器能够检测出的被测信号的最小变化量。 5.稳定性 稳定性表示传感器在一个较长的时间内保持其性能参数的能力。 6.重复性 重复性反映了传感器在不变的工作状态下，重复地给予某个相同的输入值时，其输出值的一致性，其意义与精密度相似。 7.阈值 通常将传感器最小量程附近的分辨率称为阈值。有的传感器在零输入附近有严重的非线性，形成所谓“死区”，则把死区的大小作为阈值。 8.零漂 零漂表示传感器在零输入状态下输出值的漂移。零漂有温度漂移和时间漂移两种。 9.可靠性 可靠性是指在规定的工作条件下，传感器保持原有技术指标的程度。 第二节 常用传感器及其应用 一、电位器式传感器 电位器是一种常用的电子元件，广泛用于各种电气和电子设备中。主要是把机械位移转换为与其成一定函数关系的电阻或电压输出。它除了用于线位移和角位移测量外，还可用于测量一切能转换为位移的其他非电量如压力、加速度、液位等。 电位器的优点是:结构简单、尺寸小、重量轻、输出特性精度高(可达0.1%或更高)且稳定性好，可以实现线性及任意函数特性；受环境因素(如温度、湿度、电磁干扰等)影响较小；输出信号较大，一般不需放大。因此，它是最早获得工业应用的传感器之一，至今在某些场合下还在使用。 （一）结构形式及分类 1.结构 电位器式传感器又称变阻器传感器。结构如图5-4所示为电位器的一般结构。 （一）电阻应变片的结构及种类 电阻应变片的结构如图5-8所示。 （二） 电阻应变元件的工作原理 如图5-12所示，导体或半导体材料在外力作用下(如压力或拉力)产生机械变形，其阻值将发生变化，这种现象称为“应变效应”。 三、压阻式传感器 压阻式传感器是利用半导体材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。它具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型化、能进行批量生产和使用方便等一系列特点。因而获得了日益广泛和重要的应用。 （一）固态压阻式压力传感器的结构 固态压阻式压力传感器由外壳、硅膜片和引线组成，如图5-15(a)所示。 （二）压阻式传感器的应用 压阻式传感器应用最多的是扩散型半导体应变片，尤其是扩散型硅压力敏感芯片。利用其已生产出多种压力传感器、加速度传感器，广泛应用于石油、化工、矿冶、机械、船队 医疗、航空航天等领域。 四、电感式传感器 电感式传感器是以电和磁为媒介，利用磁路磁阻变化引起传感器的电感（自感或互感）变化来检测非电量的机电转换装置。常用来检测位移、振动、力、加速度、应变、流量等物理量，它也是应用较广的一类传感器。电感式传感器的显著优点是：灵敏度和分辨力高，线性较好、输出功率大，其主要缺点是频率响应较低