传感器与检测技术 第2版 工业和信息化高职高专“十二五”规划教材立项项目 作者 宋雪臣 单振清 第13章Smart传感器.pptVIP

第13章 Smart传感器 13.1 Smart传感器的概念和特点 ① 智能化传感器不但能够对信息进行处理、分析和调节，能够对所测的数值及其误差进行补偿，而且还能够进行逻辑思考和结论判断，能够借助于一览表对非线性信号进行线性化处理，借助于软件滤波器对数字信号滤波。此外，还能够利用软件实现非线性补偿或其他更复杂的环境补偿，以改进测量精度。 ② 智能化传感器具有自诊断和自校准功能，可以用来检测工作环境。当工作环境临近其极限条件时，它将发出告警信号，并根据其分析器的输入信号给出相关的诊断信息。当智能化传感器由于某些内部故障而不能正常工作时，它能够借助其内部检测链路找出异常现象或出现故障的部件。 ③ 智能化传感器能够完成多传感器多参数混合测量，从而进一步拓宽了其探测与应用领域，而微处理器的介入使得智能化传感器能够更加方便地对多种信号进行实时处理。此外，其灵活的配置功能既能够使相同类型的传感器实现最佳的工作性能，也能够使它们适合于各不相同的工作环境。 ④ 智能化传感器既能够很方便地实时处理所探测到的大量数据，也可以根据需要将它们存储起来。存储大量信息的目的主要是以备事后查询，这一类信息包括设备的历史信息以及有关探测分析结果的索引等。 ⑤ 智能化传感器备有一个数字式通信接口，通过此接口可以直接与其所属计算机进行通信联络和交换信息。此外，智能化传感器的信息管理程序也非常简单方便，譬如，可以对探测系统进行远距离控制或者在锁定方式下工作，也可以将所测的数据发送给远程用户等。 13.2 Smart传感器的基本结构 Smart传感器依其功能可划分为两个部分，即基本传感器部分和它的信号处理单元，如图13-1所示。这两部分可以集成在一起设置，形成一个整体，封装在一个表壳内；也可以远离设置，特别在测量现场的环境比较差的情况下，分开并远离设置有利于电子元器件和微处理器的保护，也便于远程控制和操作。采用整体封装式还是远离分装式，应由使用场合和条件而定。 13.2.1 Smart传感器基本传感器 基本传感器是构成Smart传感器的基础，它在很大程度上决定着Smart传感器的性能。因此，基本传感器的选用、设计至关重要。近十余年来，随着微机械加工工艺的逐步成熟，相继加工出许多实用的高性能微结构传感器，不仅有单参数测量的，还开发了多参数测量的。 硅材料的许多物理效应适于制作多种敏感机理的固态传感器，这不仅因为硅具有优良的物理性质，也因为它与硅集成电路工艺有很好的相容性。与其他敏感材料相比，硅材料更方便制作多种集成传感器。当然，石英、陶瓷等材料也是制作先进传感器的优良材料。这些先进传感器为设计Smart传感器提供了基础。 13.2.2 Smart传感器中的软件 １．标度变换 在被测信号变换成数字量后，往往还要变换成人们所熟悉的测量值，如压力、温度、流量等。 2．数字调零 在实际应用中，常常采用各种程序来实现偏差校准，称为数字调零。 3．非线性补偿 传感器的输入-输出特性往往有一定的非线性，为此必须对其进行补偿和校正。 4．温度补偿 环境温度的变化会给测量结果带来不可忽视的误差。在Smart传感器的检测系统中，要实现传感器的温度补偿，只要能建立起表达温度变化的数学模型（如多项式），用插值或查表的数据处理方法，便可有效地实现温度补偿。 5．数字滤波 当传感器信号经过A/D变换输入微处理器时，经常混进如尖脉冲之类的随机噪声干扰，尤其在传感器输出电压低的情况下，这种干扰更不可忽视，必须予以削弱或滤除。对于周期性的工频（50Hz）干扰，采用积分时间等于20ms的整数倍的双积分A/D变换器，可以有效地消除其影响。对于随机干扰信号，利用软件数字滤波技术有助于解决这个问题。 13.3 Smart传感器的应用 1．光电式Smart压力传感器 图13-3所示为一种光电式Smart压力传感器，它使用了一个红外发光二极管和两个光敏二极管，通过光学方法来测量压力敏感元件（膜片）的位移[图13-3(a)]。提供参考信号基准的光敏二极管和提供被测压力信号的光敏二极管制作在同一芯片上，因而受温度和老化变化的影响相同，可以消除温漂和老化带来的误差。 2．Smart差压传感器 图13-4所示为Smart差压传感器，由基本传感器、微处理器和现场通信器组成。传感器采用扩散硅力敏元件，它是一个多功能器件，即在同一单晶硅芯片上扩散有可测差压、静压和温度的多功能传感器[图13-4（a）]。该传感器输出的差压、静压和温度三个信号经前置放大、A/D变换，送入微处理器中。其中静压和温度信号用于对差压进行补偿，处理后的差压数字信号再经D/A变成4～20mA的标准信号输出，也可经由数字接口直接输出数字信号[图13-4（b）]。 本章小结 为了满足测量和控制系统日益自动化的需求，仪器仪表界提出了研