传感器与检测技术 作者 魏学业 第3章 电感式和电容式传感器.pptVIP

2．变面积型电容传感器 与变极距型不同，变面积型电容传感器是通过动极板横向移动，引起两极板有效覆盖面积A改变，从而得到电容的变化。其特点是电容量变化范围大，适合测量较大的线位移和角位移。 图3-19（a）所示为一直线位移型电容式传感器的示意图。当被测量的变化引起动极板横向移动距离 时，覆盖面积A就发生变化，电容量C也随之改变，其值为 由此可见，电容C的相对变化 与直线位移 呈线性关系，其测量的灵敏度为 减小两极板的宽度a，可提高传感器的灵敏度，但a不宜过小，否则会因边缘电场影响的增加而影响线性特性。此结构类型的传感器可测直线位移变化，位移 不能太大。 图3-19（b）所示为角位移型电容式传感器的示意图。当被测量的变化引起动极板有一角位移θ时，两极板间相互覆盖的面积就改变了，从而也就改变了两极板间的电容量C，此时电容值为 电容C的相对变化 与角位移也呈线性关系，其灵敏度为 因此，这种类型的电容传感器可用来测量角位移的变化，理论测量范围0～π，但实际由于边缘效应等原因达不到这个数。 图3-19 变面积型电容传感器示意图 3．变介质型电容传感器 变介质型电容传感器有较多的结构型式，其应用范围也较多，可以用来测量纸张、绝缘薄膜等的厚度，也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿度。图3-20所示是一种常用的结构型式，图中两平行电极固定不动，极距为 ，相对介电常数为 的电介质以不同深度插入电容器中，从而改变两种介质的极板覆盖面积。传感器的总电容量C为 式中： 、 为极板长度和宽度；L为第二种介质进入极板间的深度。 若插入深度L=0时，传感器初始电容 。当介质 进入极间L后，引起电容的相对变化为 可见，电容的变化与电介质 的移动量L呈线性关系。 图3-20 变介质型电容传感器 图3-21所示是一种变极板间介质的电容式传感器用于测量液位高低的结构原理图。设被测介质的介电常数为 ，液面高度为h，电容器总高度为H，内筒外径为d，外筒内径为D，则此时电容器的电容值为 式中：ε为空气介电常数； 为由电容器的基本尺寸决定的初始电容值， 由上式可见，此电容器的电容增量正比于被测液位高度h。 图3-21 电容式液位电容结构原理图 3.2.2 测量电路 电容式传感器中电容值及电容变化值都十分微小，这样微小的电容量还不能直接为目前的显示仪表所显示，且不便于传输。这就必须借助于测量电路检出这一微小电容增量，并将其转换成与其成单值函数关系的电压、电流或者频率。测量电路有交流测量电桥、调频电路、运算放大器电路、二极管双T型交流电桥、脉冲宽度调制电路等。 1．运算放大器电路 将电容式传感器接入运算放大器电路中，如图3-22所示。 为电容式传感器的输出电容， 是交流电源电压， 是输出信号电压。由运算放大器工作原理可得 （3-12） 如果传感器是一只平板电容，则 ，代入式（3-12），有 （3-13） 式（3-13）说明运算放大器的输出电压与极板间距d呈线性关系。运算放大器电路解决了单个变极板间距式电容传感器的非线性问题。 图3-22 运算放大器式电路原理图 2．脉冲宽度调制电路 脉冲宽度调制电路如图3-23所示。它由比较器A1、A2和双稳态触发器及电容充放电回路组成。 、 为差动式电容传感器， 为参考电压，双稳态触发器的两个输出端A、B作为差分脉冲调宽电路的输出。电路工作原理如下所述。 当双稳态触发器处于某一状态，Q=1， =0，A点高电位通过 对 充电，时间常数为 ，直至C点电位高于参考电位 ，比较器A1输出正跳变信号。与此同时，因 =0，电容器 上已充电流通过二极管 迅速放电至零电平。A1正跳变信号激励触发器翻转，使Q=0， =1，于是A点为低电位， 通过二极管 迅速放电，而B点高电位通过 对 充电，时间常数为 ，直至D点电位高于参考电位 。比较器A2输出正跳变信号，使触发器发生翻转，重复前述过程。 电路各点波形如图3-24所示。当差动电容器的 时，取 ，则脉冲宽度 ，其输出平均电压值 。各点的电压波形如图3-24（