检测技术 卜云峰 主编 第三章 电容式传感器新.pptVIP

(6) 采用组合式与集成技术　 此技术包括三种方法：一种方法是将测量电路的前置级或全部装在紧靠传感器处，缩短电缆；另一种方法是采用超小型大规模集成电路，将全部测量电路组合在传感器壳体内；更进一步就是利用集成工艺，将传感器与信号调理电路等集成于同一芯片，构成集成电容式传感器。 第三节　电容式传感器的测量电路 一、普通交流电桥二、紧耦合电感臂电桥三、变压器电桥四、双T形电桥电路五、运算放大器式测量电路六、脉冲调制电路 一、普通交流电桥 图3-11　普通交流电桥 二、紧耦合电感臂电桥 图3-12　紧耦合电感臂电桥 三、变压器电桥 图3-13　变压器电桥 四、双T形电桥电路 图3-14　双T形电桥电路 四、双T形电桥电路 图3-15　双T形电桥电路等效电路 五、运算放大器式测量电路 图3-16　运算放大器式测量电路 六、脉冲调制电路 1) 对于变间隙差分电容式传感器，该极板间初始间距d0，变化量为Δd时，低通滤波器输出为2) 对于变面积差分电容式传感器，设初始相对覆盖面积为S0，变化量为ΔS，则低通滤波器输出为 六、脉冲调制电路 图3-17　脉冲调制电路a)原理图　b)波形图 图3-18　差分脉冲调宽电路实例 第四节　电容式传感器的应用 一、电缆芯偏心测量二、电容式位移传感器三、电容式压力传感器四、电容式加速度传感器五、晶体管电容料位指示仪 一、电缆芯偏心测量 图