Thin Film 常用名词解释.xlsVIP

Sheet3 Thin Film 常用术语 Thin Film 常用单词 Thin Film 常用单词 缩写 英文全称 中文含义 TF Thin Film PVD CVD Physical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition Recipe 程式 Stress 应力 Chamber 腔体 Loadlock Transfer 传输/传送 Argon 氩气 Contact 接触孔 Via 通孔 Particle 颗粒 Defect 缺陷 Deposition 淀积 Plasma 等离子体（电浆） RTP 快速热退火 semiconductor 半导体 Rapid Thermal Processing Sputter 溅射 Profile 形貌 Ti 钛 W 钨 tungsten 真空 Tin Al Manual 手动/手册 Cassette 片架 Monitor 测机/监控 Temperature 温度 Alarm 报警 Wiper 无尘抹布 Anti-Reflect Coating ARC 抗反射涂层 AFI After Film Inspection 薄膜后视检 均匀性 Uniformity 氮化硅 Si3N4 中文含义及详解 Thin Film 常用术语 Process 制程/工序 Alumina 铝 Titanium 氮化钛