各类真空泵的基本原理.pptVIP

湿 式 泵 的 主 要 问 题 罗 茨 泵 气量被收集 被泵吸的气量 进气 移动(无压缩) 排气 外露排气口 罗茨结构的各级运行 真 空 泵 目录 一、概述 1、真空泵的分类 2、各类真空泵工作压力范围 3、真空泵的规格及型号表示法 二、常用真空泵技术 1、蒸汽喷射泵 2、湿式泵 3、干式泵 三、总结 一、概 述 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。 真空区域的划分 ?????? 粗真空 105～103 Pa ?????? 低真空 103 ～10 -1 Pa ?????? 高真空 10-1 ～ 10 -6 Pa ?????? 超高真空 10-6 ～10 -10 Pa ?? 极高真空 10-10Pa 1、真空泵的分类 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。 变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。 动量传输泵（分子真空泵）依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。 变容真空泵 ???往复式 ???旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式） ???其它型式 2、各类真空泵工作压力范围 真空泵种类 工作压强范围（Pa） 往复式真空泵 1×105～1.3×102 旋片式真空泵 1×105～6.7×10-1 液环式真空泵 1×105～2.7×103 罗茨式真空泵 1.3×103～1.3 水蒸气喷射泵 1×105～1.3×10-1 油扩散泵 1.3×10-2～1.3×10-7 钛升华泵 1.3×10-2～1.3×10-9 3、真空泵的规格及型号表示法 国产的各种机械真空泵的型号通常是用汉语拼音字母来表示。汉语拼音字母表示泵的类型；字母前的数字表示泵的级数，单级时“1”省略；字母后边横线后的数字表示泵的抽速(L/S) 。 国产真空泵型号对照表 型 号 名 称 型 号 名 称 W 往复式真空泵 H 滑阀式真空泵 WY 移动阀式往复泵 YZ 余摆线真空泵 WL 立式往复泵 ZJ 罗茨真空泵 SZ 水环泵 X 旋片式真空泵 SZB 悬臂式结构水环泵 F 分子真空泵 SZZ 直联式水环泵 XZ 直联式旋片泵 二、常用真空泵技术 蒸汽喷射泵 湿 式 泵（液环真空泵、旋转叶片泵） 干式泵（罗茨泵、螺杆泵、爪式泵） 蒸汽喷射泵原理图 1、蒸汽喷射泵 蒸汽喷射泵原理 压力为ρ0﹑速度为ω0的工作蒸汽流经拉瓦尔喷嘴(见拉瓦尔喷管)﹐在喷嘴出口处射流的速度上升到超音速 ω1﹐而压力下降为ρ1﹐因而将被抽气体吸入﹐与高速蒸汽流碰撞﹑混合和交换能量﹑并流向扩散器。在扩散器收缩段蒸汽和被抽气体进一步混合﹐成为均匀混合气体。在这一过程中混合气体的速度开始连续下降﹐而压力连续上升﹐在扩散器喉段附近产生正激波。混合气体速度由超音速急剧降为亚音速﹐而压力则随之急剧升高。在扩散器出口处﹐压力上升到大气压力或后一级喷射器的进口压力时﹐混合气体即排出。 蒸汽喷射泵 优点： 无机械运动部件 可靠耐用 快速的抽真空 紧凑、占地面积小 工作安全 低的投资成本 适应性强 结构简单、重量轻 蒸汽喷射泵 缺点： 运动流体供应 废水处理 工艺过程污染 故障探寻困难 级间冷却 常为多级 在 400PaA以下结冰 2、湿式泵液环真空泵 液环式真空泵工作原理 泵吸入 (气体混合物) 气体混合物 气体混合物 工作液 气体和液体 泵排出 (气体和液体) 液环真空泵工 作 原 理 在圆形泵体（A）内，在相对于泵体中心线为偏心的轴上装有一个叶轮（B）。转动的叶轮的离心作用迫使工作液通过通道（D）流向腔体周边形成环流（C）。 ? 泵起作用时，被输送的气体混合物经过中间板（E）上的吸入口（H）进入叶轮，在泵入口处形成真空。气体混合物充入位于液环内径和叶轮叶片根部之间的叶轮腔内。当叶轮转动时，叶轮叶片浸没在液环中的程度增加，而使液环和叶轮