声表面波二氧化气体传感器的研究.pdf

摘要 摘 要 Acoustic 声表面波(SAW,SurfaceWave)气体传感器越来越受到广泛的关注， 现已成为气体传感器的研究热点之一，因为SAW气体传感器具有很多独特的优 势，例如精度高、稳定性好、体积小、易于集成化等。SAW气体传感器的核心 是敏感膜，敏感膜材料的灵敏度、稳定性、选择性等决定了传感器的性能。但是 国内SAW技术起步较晚并且制备器件的工艺落后，所以制作出来的传感器并不 能达到预期要求。本论文提出了一种设计SAW气体传感器的方法，有选择的结 合电子束光刻、X射线光刻和剥离等技术工艺，研制出了一种双通道SAW延迟 线传感器，并且我们最终确定该器件的频率为120MHz。最后利用该传感器研究 了两种敏感膜材料：聚苯胺／多壁碳纳米管和三氧化钨／多壁碳纳米管，并用这两 种敏感膜在室温下成功地检测了N02气体。 课题主要研究内容包括： (1)简单地介绍了SAW气体传感器的基本原理和背景知识；比较了国内外 SAW技术的发展现状和发展趋势。 (2)主要对SAW传感器做了理论分析，其中包括瑞利波及其在压电介质中 Transduce